杭州科汀光學技術有限公司金波獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉杭州科汀光學技術有限公司申請的專利一種任意厚度膜系的監控方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116463603B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310469873.6，技術領域涉及：C23C14/54；該發明授權一種任意厚度膜系的監控方法是由金波;艾曼靈;沈旭輝;白晶;吳江波;顧培夫設計研發完成，并于2023-04-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種任意厚度膜系的監控方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種任意厚度膜系的監控方法，采用薄膜設計軟件模擬計算出每層膜隨著厚度增加時在監控波段范圍內各個波長的反射率光譜曲線，并從各光譜曲線尋找出每層膜達到正確厚度時的反射率極值，然后對每層膜選擇一個合適的極值波長作為其厚度監控波長，最后就可用每層膜的厚度監控波長借助于傳統的反射極值法監控任意厚度的多層膜。監控波段范圍優選為400～900nm；極值可以是極大值，也可以是極小值；任意厚度膜系的厚度監控僅需一塊監控片；監控方法可以采用反射極值監控，也可透射極值監控。這對任意厚度膜系的膜厚監控和器件制造具有重要的實際價值。
本發明授權一種任意厚度膜系的監控方法在權利要求書中公布了：1.一種任意厚度膜系的監控方法，其特征在于，包括以下步驟： 1）采用薄膜設計軟件設計膜系，如果設計的膜系為非規整膜系，采用薄膜設計軟件模擬計算出非規整膜系中的每層膜在不同厚度時在監控波段范圍內各個波長的反射率光譜曲線，得到每層膜的各個反射率光譜曲線； 所述設計的膜系為非規整膜系，即非四分之一倍數的膜系； 2）從每層膜的各個反射率光譜曲線尋找出每層膜達到正確厚度時的反射率極值，然后從反射率極值中選擇一個合適的極值作為膜層的厚度監控波長，根據膜層的厚度監控波長監控設計的膜系的制造； 當每層膜的各個反射率光譜曲線中不能尋找出達到正確厚度時的反射率極值，采用定值監控控制設計的膜系的制造； 步驟2）中，從反射率極值選擇一個合適的極值作為膜層的厚度監控波長，具體包括： 第一種：反射率極值為一個，則直接作為該膜層的厚度監控波長； 第二種：反射率極值為多個，根據反射率極值和極值波長的特征，選擇一個反射極值波長作為厚度監控波長。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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