買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉南京工程學院申請的專利用于原子層沉積金屬硫化物的反應殘余物循環再利用方法及裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116145107B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310001770.7，技術領域涉及：C23C16/455；該發明授權用于原子層沉積金屬硫化物的反應殘余物循環再利用方法及裝置是由谷藍翔;黃亞洲;邵銀峰;沈家偉;陳玉蒙設計研發完成，并于2023-01-03向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于原子層沉積金屬硫化物的反應殘余物循環再利用方法及裝置在說明書摘要公布了：本發明實施例公開了一種用于原子層沉積金屬硫化物的反應殘余物循環再利用方法及裝置，涉及微納米制造技術領域，解決了原子層沉積金屬硫化物過程中，有害反應殘余物的循環再利用問題。本發明包括氣動閥V3、冷凝吸收裝置、溶解吸收裝置Ⅰ、干燥裝置Ⅰ、真空泵、氣動閥V5、儲氣裝置Ⅰ、氣動閥V7、減壓閥V11依次連接，組成處理線路Ⅰ，用于回收處理原子層沉積金屬硫化物的金屬源反應殘余物；氣動閥V4、溶解吸收裝置Ⅱ、干燥裝置Ⅱ、真空泵、氣動閥V6、儲氣裝置Ⅱ、氣動閥V8、減壓閥V22依次連接，組成處理線路Ⅱ，用于回收處理原子層沉積金屬硫化物的硫化氫源反應殘余物。

本發明授權用于原子層沉積金屬硫化物的反應殘余物循環再利用方法及裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于原子層沉積金屬硫化物的反應殘余物循環再利用方法，其特征在于，所述方法包括：在處理線路Ⅰ上進行的步驟S1至步驟S3，和在處理線路Ⅱ上進行的步驟S4至步驟S6； 步驟S1，若選擇所述處理線路Ⅰ，則氣動閥V1（23）打開使得金屬源（24）送入反應腔體（2），同時，氣動閥V35和氣動閥V514開啟，并將氣動閥V46、氣動閥V616、氣動閥V74和氣動閥V818關閉，使得金屬源反應殘余物、鹽酸HCl和載氣進入所述處理線路Ⅰ； 步驟S2，通過冷凝吸收裝置（7）對金屬源反應殘余物中的金屬鹵化物進行冷凝回收，通過溶解吸收裝置Ⅰ（10）對鹽酸HCl進行中和吸收，剩余的載氣通過干燥裝置Ⅰ（11）進行干燥過濾； 步驟S3，干燥過濾后的載氣，經真空泵（13）泵入儲氣裝置Ⅰ（15）中儲存； 步驟S4，若選擇所述處理線路Ⅱ，則氣動閥V1（23）關閉且氣動閥V2（20）打開使得硫化氫源（21）送入反應腔體（2），同時，氣動閥V35和氣動閥V514關閉，氣動閥V46和氣動閥V616開啟，使得硫化氫源反應殘余物、鹽酸HCl和載氣，進入處理線路Ⅱ； 步驟S5，鹽酸HCl與溶解吸收裝置Ⅱ（9）中的溶液，在加熱裝置（8）加熱下，反應生成硫化氫；之后，將硫化氫和載氣通過干燥裝置Ⅱ（12）進行干燥； 步驟S6，干燥過濾后的硫化氫和載氣，經真空泵（13）泵入儲氣裝置Ⅱ（17）進行存儲； 還包括：當需要使用儲氣裝置Ⅰ（15）中的載氣時，打開氣動閥V7（4），根據原子層沉積過程中金屬源路的壓力，設置減壓閥V11（3）輸出壓力，將儲氣裝置Ⅰ（15）的載氣輸送到金屬源路中； 當需要使用儲氣裝置Ⅱ（17）中的硫化氫和載氣時，根據原子層沉積過程中硫化氫源路的壓力，設置減壓閥V22（19）輸出壓力，將儲氣裝置Ⅱ（17）中的硫化氫、載氣輸送到硫化氫源路中； 由氣動閥V35、冷凝吸收裝置（7）、溶解吸收裝置Ⅰ（10）、干燥裝置Ⅰ（11）、真空泵（13）、氣動閥V514、儲氣裝置Ⅰ（15）、氣動閥V74、減壓閥V11（3）依次通過輸氣管連接，并組成處理線路Ⅰ； 由氣動閥V46、溶解吸收裝置Ⅱ（9）、干燥裝置Ⅱ（12）、真空泵（13）、氣動閥V616、儲氣裝置Ⅱ（17）、氣動閥V818、減壓閥V22（19）依次通過輸氣管連接，并組成處理線路Ⅱ； 在步驟S1中，冷凝吸收裝置（7）的溫度控制在[50℃，200℃]； 在步驟S5中，加熱裝置（8）溫度控制在[30℃，150℃]。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南京工程學院，其通訊地址為：211167 江蘇省南京市江寧區弘景大道1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。