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龍圖騰網(wǎng)獲悉季華實驗室申請的專利一種氣體流場均勻性檢測系統(tǒng)及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115201057B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210564195.7，技術(shù)領域涉及：G01N7/00；該發(fā)明授權(quán)一種氣體流場均勻性檢測系統(tǒng)及方法是由張南;王鑫;吳彩庭;劉自然;毛朝斌;羅騫設計研發(fā)完成，并于2022-05-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種氣體流場均勻性檢測系統(tǒng)及方法在說明書摘要公布了：本申請涉及化學氣相沉積技術(shù)領域，具體提供了一種氣體流場均勻性檢測系統(tǒng)及方法，其包括：驅(qū)動組件；檢測盤，其包括承載臺、氣壓傳感器和至少一種氣體濃度傳感器，氣壓傳感器和氣體濃度傳感器均設置在承載臺上，氣壓傳感器用于采集生成氣壓信息，氣體濃度傳感器用于采集生成對應的原料氣體的濃度信息；控制器，與氣壓傳感器、氣體濃度傳感器和驅(qū)動組件電性連接，用于控制驅(qū)動組件間隙性地驅(qū)動承載臺旋轉(zhuǎn)預設的第一角度，還用于根據(jù)氣壓傳感器在不同位置采集生成的氣壓信息檢測混合氣體是否均勻，還用于根據(jù)氣體濃度傳感器在不同位置采集生成的濃度信息檢測對應的原料氣體是否均勻；該系統(tǒng)能夠有效地提高外延生長的膜厚均勻性。

本發(fā)明授權(quán)一種氣體流場均勻性檢測系統(tǒng)及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種氣體流場均勻性檢測系統(tǒng)，用于檢測外延設備的氣體流場的均勻性，包括驅(qū)動組件1，其特征在于，所述氣體流場均勻性檢測系統(tǒng)還包括： 檢測盤2，其包括承載臺21、氣壓傳感器22和至少一種氣體濃度傳感器23，所述氣壓傳感器22和所述氣體濃度傳感器23均設置在所述承載臺21上，所述氣壓傳感器22用于采集生成氣壓信息，所述氣體濃度傳感器23用于采集生成對應的原料氣體的濃度信息； 控制器3，與所述氣壓傳感器22、所述氣體濃度傳感器23和所述驅(qū)動組件1電性連接，用于控制所述驅(qū)動組件1間隙性地驅(qū)動所述承載臺21旋轉(zhuǎn)預設的第一角度，還用于根據(jù)所述氣壓傳感器22在不同位置采集生成的所述氣壓信息檢測混合氣體是否均勻，還用于根據(jù)所述氣體濃度傳感器23在不同位置采集生成的所述濃度信息檢測對應的所述原料氣體是否均勻； 所述氣體濃度傳感器23的種類為多種，所述根據(jù)所述氣體濃度傳感器23在不同位置采集生成的所述濃度信息檢測對應的所述原料氣體是否均勻的過程包括： 根據(jù)多種所述氣體濃度傳感器23在不同位置采集生成的濃度信息獲取多種所述原料氣體的第一濃度比例信息； 根據(jù)所述第一濃度比例信息檢測所述原料氣體是否均勻。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人季華實驗室，其通訊地址為：528200 廣東省佛山市南海區(qū)桂城街道環(huán)島南路28號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。