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龍圖騰網(wǎng)獲悉中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司申請的專利一種支撐組件、外延沉積的反應(yīng)器及其組裝方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116411262B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111657236.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/458；該發(fā)明授權(quán)一種支撐組件、外延沉積的反應(yīng)器及其組裝方法是由張輝;杜冰潔設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種支撐組件、外延沉積的反應(yīng)器及其組裝方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種用于支撐基片托盤的支撐組件，包括一旋轉(zhuǎn)軸和多個(gè)支撐桿。旋轉(zhuǎn)軸頂部側(cè)壁上開設(shè)多個(gè)安裝槽，所述支撐桿包括依次連接的插入部、延伸部和支撐部，所述支撐部用于支撐基片托盤；多個(gè)支撐桿的插入部依次插入旋轉(zhuǎn)側(cè)壁的多個(gè)安裝槽中，實(shí)現(xiàn)支撐組件的組裝。其中安裝槽和支撐桿的插入部上設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)，支撐桿位于安裝槽下方空間時(shí)可以受支撐桿本身重力驅(qū)動(dòng)，使得插入部自動(dòng)向上運(yùn)動(dòng)到緊貼安裝槽頂部傾斜面，實(shí)現(xiàn)支撐桿的自動(dòng)定位。

本發(fā)明授權(quán)一種支撐組件、外延沉積的反應(yīng)器及其組裝方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于支撐基片托盤的支撐組件，包括一旋轉(zhuǎn)軸和多個(gè)支撐桿，其特征在于： 所述旋轉(zhuǎn)軸頂部側(cè)壁上開設(shè)多個(gè)安裝槽，所述支撐桿包括依次連接的插入部、延伸部和支撐部，所述支撐部用于支撐基片托盤； 插入部具有至少一個(gè)底壁和一傾斜的外側(cè)壁； 所述插入部可在所述安裝槽內(nèi)的第一位置和第二位置之間移動(dòng)，其中第一位置低于所述第二位置； 所述插入部位于安裝槽內(nèi)第一位置時(shí)，所述插入部的傾斜外側(cè)壁與安裝槽的內(nèi)側(cè)壁之間存在間隙，所述插入部能夠?qū)捤傻牟迦牖虬纬霭惭b槽，且所述支撐桿的重心位于遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)軸的延伸部上，所述支撐桿的重力使插入部具有向所述第二位置運(yùn)動(dòng)的力； 所述插入部傾斜外側(cè)壁上設(shè)置有凸起部，所述插入部向上運(yùn)動(dòng)到第二位置時(shí)，通過所述凸起部與安裝槽的傾斜內(nèi)側(cè)壁互相緊貼，支撐桿與安裝槽之間互相卡緊后實(shí)現(xiàn)插入部的固定，同時(shí)插入部底壁與安裝槽底壁之間存在間隙。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司，其通訊地址為：201201 上海市浦東新區(qū)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）泰華路188號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。