北京中科科儀股份有限公司劉其武獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京中科科儀股份有限公司申請的專利一種氣壓環境維持結構、掃描電鏡及氣壓環境維持方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114093737B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111567071.6,技術領域涉及:H01J37/18;該發明授權一種氣壓環境維持結構、掃描電鏡及氣壓環境維持方法是由劉其武設計研發完成,并于2021-12-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種氣壓環境維持結構、掃描電鏡及氣壓環境維持方法在說明書摘要公布了:本申請公開了一種氣壓環境維持結構、掃描電鏡及氣壓環境維持方法,應用于室內有目標氣壓需求的工作室,包括有:穿通件,穿過連通工作室室內空間的穿通孔,并能夠在穿通孔內移動,穿通件的用于操控位移的操控端位于室外、用于承載樣品的承載端位于室內;密封部件,設置在穿通件與穿通孔之間,以使工作室室內與室外密封隔離。本申請提供了的氣壓環境維持結構及方法,工作人員在外部操作即可移動工作室內的樣品,同時保證了移動過程中特定氣壓環境與外界環境始終保持隔離,確保工作室內長期有效維持工作所需的特定氣壓環境,提高作業效率,簡便作業操作。
本發明授權一種氣壓環境維持結構、掃描電鏡及氣壓環境維持方法在權利要求書中公布了:1.一種氣壓環境維持結構,應用于室內有目標氣壓需求的工作室1,其特征在于,包括有: 樣品室6,連接在所述工作室的外壁上,通過供樣品進出的傳送通道11與所述工作室1相連通,并包括用于導通或密閉所述傳送通道11的密封隔離組件; 穿通座5,貼合連接在所述樣品室6的外壁上,設有用于穿入所述樣品室6室壁上通孔內的對接軸體52和與所述通孔相連通的穿通孔51,所述穿通座5和所述樣品室6外壁之間設置有呈環狀并圍繞所述通孔的密封件8; 連接座7,所述連接座7與所述穿通座5遠離所述工作室1的一側相連,設置有與所述穿通孔51相連通的滑動通道71; 穿通件,包括可滑動地穿設在所述滑動通道71和所述穿通孔51內的穿通桿2,所述穿通桿2包括用于操控位移的操控端21和用于承載樣品并通過所述傳送通道11伸入所述工作室1內的承載端22; 密封部件,設置在所述穿通桿2與所述穿通孔51之間,以使所述工作室1室內與室外密封隔離,所述密封部件包括密封所述穿通孔51與所述穿通件間隙的密封圈4,以及密封所述穿通孔51與所述穿通桿2間隙并套設在所述穿通桿2上的密封保護套3; 其中,所述密封保護套3的內徑D1與所述穿通桿2的直徑d1之間的間隙量為Δ1、所述穿通孔51的大直徑D2與所述密封保護套3的外徑d2之間的間隙量為Δ2,Δ1與Δ2之和為總間隙量Δ; 根據所述總間隙量Δ的倍數確定密封圈壓縮量C,根據所述密封圈壓縮量C及設定的密封壓縮比設置所述密封圈4的直徑dx,所述密封壓縮比設定在8%-20%范圍內; 根據D1、D2、d1與d2,并根據公式D0≥d1+C,來確定所述穿通孔51的小直徑D0。
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