廣東眾元半導體科技有限公司劉勝獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉廣東眾元半導體科技有限公司申請的專利一種襯底加熱器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115442924B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110615227.7，技術領域涉及：H05B3/02；該發明授權一種襯底加熱器是由劉勝;甘志銀;王亦凡;沈橋設計研發完成，并于2021-06-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種襯底加熱器在說明書摘要公布了：一種用于MBE設備的襯底加熱器，主要包括外框、固定頂板、上隔熱板、側隔熱環、下層隔熱板、內圈加熱絲、外圈加熱絲。本發明采用內外雙熱絲產生的雙熱區加熱方式，可以提高襯底片的加熱溫度均勻性，提高分子束外延反應速率，能夠提高晶體生長質量，顯著提高晶體生長速率，提高生產效率，降低生產成本；采用多層隔熱板平行排布設計，有效降低樣品臺加熱絲熱源對腔體內部熱量的耗散，減少對MBE腔體內其他組件的熱影響，保障MBE運行性能。
本發明授權一種襯底加熱器在權利要求書中公布了：1.一種襯底加熱器，包括外框1、固定頂板2、上隔熱板3、側隔熱環4、下隔熱板5、內圈熱絲6、外圈熱絲7、掛載軸8、固定鉬絲9、電極10和隔圈11，其特征在于：外框1為圓筒形一體構成，固定頂板2固定連接于并覆蓋外框1的上端面；上隔熱板3通過掛載軸8與固定頂板2固定，通過隔圈11分隔，自上而下間隔平行設置；側隔熱環4通過固定鉬絲9與外框1相固定，自內而外同心間隔設置；多根掛載軸8平行穿過固定頂板2和上隔熱板3相固定；多根固定鉬絲9穿過外框1和側隔熱環4相固定；下隔熱板5固定連接并覆蓋外框1下端面；固定頂板2和上隔熱板3之間構成上層隔熱空間；側隔熱環4和外框1之間構成側隔熱空間；下隔熱板5和內圈熱絲6、外圈熱絲7之間構成下層隔熱空間；隔圈11穿過掛載軸8對應的掛載軸8通孔，間隔分布在上隔熱板3對應的掛載軸8通孔間；內圈熱絲6采用回形螺旋線排布方式，外圈熱絲7采用同心圓排布方式；內圈熱絲6和外圈熱絲7通過多根電極10同心固定，平行于固定頂板2，形成雙溫區形式排布，所述上隔熱板3設置為3層結構。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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