江蘇寶鴻半導體材料有限公司胡夢杰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇寶鴻半導體材料有限公司申請的專利一種耐高溫耐腐蝕石英舟及制備工藝獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120247391B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510740936.6,技術領域涉及:C03B20/00;該發明授權一種耐高溫耐腐蝕石英舟及制備工藝是由胡夢杰;趙森設計研發完成,并于2025-06-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種耐高溫耐腐蝕石英舟及制備工藝在說明書摘要公布了:本發明公開了一種耐高溫耐腐蝕石英舟及制備工藝,涉及玻璃制造領域,所述石英舟包括:基體材料和表面防護層,所述基體材料包括如下質量份數的組分:石英砂100份;稀土氧化物0.5?1.2份;晶相穩定劑0.4?1.3份,包括氧化鋁0.3?0.8份和氧化鋯0.1?0.5份;增強相0.08?0.2份;所述表面防護層為非金屬氮化物薄膜,厚度50?200nm。通過精準調控內外層摻雜材料,利用內層ZrO2與外層Al2O3的梯度摻雜,結合稀土氧化物的晶界穩定作用,解決了傳統石英舟高溫析晶及腐蝕速率高等問題,內層ZrO2利用相變吸能與氧空位調控抑制晶格畸變,外層Al2O3形成致密鈍化層阻擋腐蝕介質滲透,使石英舟在高溫、腐蝕及劇烈溫變環境下保持結構穩定,從而確保極端條件下的高溫穩定性和腐蝕抗性。
本發明授權一種耐高溫耐腐蝕石英舟及制備工藝在權利要求書中公布了:1.一種耐高溫耐腐蝕石英舟的制備工藝,其特征在于,包括以下步驟: S1、將石英砂用混合酸液在60-90℃下酸洗1-3h,酸洗干燥后按質量比6:4-8:2分為內層石英砂和外層石英砂; S2、將內層石英砂、稀土氧化物、氧化鋯和增強相在球磨機中球磨分散,形成內層混合料,將外層石英砂和氧化鋁在球磨機中球磨分散,形成外層混合料; S3、采用雙料道熱壓模具,內層混合料填充中心腔,外層混合料填充環形腔,在1100-1300℃溫度預燒結,并在1400-1500℃溫度主燒結,冷卻成型,得到初料石英舟; S4、通過等離子體化學氣相沉積,在初料石英舟表面形成非金屬氮化物薄膜,得到耐高溫耐腐蝕石英舟; 所述石英舟包括基體材料和表面防護層,所述基體材料包括如下質量份數的組分: 石英砂100份; 稀土氧化物0.5-1.2份; 晶相穩定劑0.4-1.3份,包括氧化鋁0.3-0.8份和氧化鋯0.1-0.5份; 增強相0.08-0.2份,所述增強相為碳化硅納米線。
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