蘇州優晶半導體科技股份有限公司;江蘇科技大學袁長路獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州優晶半導體科技股份有限公司;江蘇科技大學申請的專利能定量加料的碳化硅生長爐和碳化硅生長方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119843355B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510315478.1,技術領域涉及:C30B23/00;該發明授權能定量加料的碳化硅生長爐和碳化硅生長方法是由袁長路;陳建明;趙文超;張江濤;張禮華;陳曙光;王葉松;裴永勝設計研發完成,并于2025-03-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本能定量加料的碳化硅生長爐和碳化硅生長方法在說明書摘要公布了:本發明屬于碳化硅晶體生長技術領域,具體涉及一種能定量加料的碳化硅生長爐和碳化硅生長方法,包括爐體和坩堝,坩堝頂部設置籽晶安裝部,還包括定量加料裝置,定量加料裝置包括加料罐、螺旋送料裝置、加料輸送管道;坩堝的下部開設補料管道,補料管道由下而上的依次從爐體底部、坩堝底部延伸至坩堝內部,補料管道與坩堝內壁之間形成原料倉;加料輸送管道的上部設置在補料管道內且延伸至原料倉所在高度的上方并與原料倉連通,以進行補料。本發明能在晶體生長過程中連續加料,不僅可以增加晶體生長的厚度,又可以提高晶體的內部質量。
本發明授權能定量加料的碳化硅生長爐和碳化硅生長方法在權利要求書中公布了:1.一種能定量加料的碳化硅生長爐,包括爐體和坩堝,坩堝頂部設置籽晶安裝部,其特征在于,還包括定量加料裝置,所述定量加料裝置包括加料罐、螺旋送料裝置、加料輸送管道;其中,加料罐上設置供氣管道、真空管道; 所述螺旋送料裝置包括螺旋件,螺旋件具有通氣通道,且通氣通道上連通設置有若干氣孔且若干氣孔沿螺旋件的軸向分布;所述通氣通道的入口連通有一級充氣管道; 所述坩堝的下部開設補料管道,補料管道由下而上的依次從爐體底部、坩堝底部延伸至坩堝內部,補料管道與坩堝內壁之間形成原料倉;所述加料輸送管道的上部設置在所述補料管道內且延伸至所述原料倉所在高度的上方并與原料倉連通,以進行補料;所述加料輸送管道的位于爐體外的部分側壁與爐體之間進行密封連接,且所述加料輸送管道的下部具有側入口和底部入口;所述底部入口連通有三級充氣管道以引入惰性氣體載氣;所述加料輸送管道的底部入口與三級充氣管道之間設置有用于阻擋原料顆粒的孔板; 所述側入口與加料罐的出口之間通過中間送料管道連通,加料罐的出口處設置能控制開度的第一球閥;并在中間送料管道為兩個以上管道連接時,將前一管道的出口端伸入后一管道的入口端內并進行非接觸式的密封套接,且在該密封套接處設置二級充氣管道。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州優晶半導體科技股份有限公司;江蘇科技大學,其通訊地址為:215300 江蘇省蘇州市昆山市開發區杜鵑路555號A6#廠房;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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