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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)工程物理研究院材料研究所申請(qǐng)的專利一種氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散性能的檢測(cè)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116183444B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310146098.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N13/00；該發(fā)明授權(quán)一種氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散性能的檢測(cè)方法是由梁傳輝;尹安毅;郭莉;王東平;朱生發(fā);顏家偉;趙曉沖;陳長(zhǎng)安設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-02-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散性能的檢測(cè)方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散性能的檢測(cè)方法，涉及氮化鈦材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明將氮化鈦薄膜制備成三明治復(fù)合結(jié)構(gòu)；所述三明治復(fù)合結(jié)構(gòu)包括硅基底和依次層疊于所述硅基底上的金屬鈦薄膜和氮化鈦薄膜；將所述三明治復(fù)合結(jié)構(gòu)在氘氣氣氛中進(jìn)行第一加熱，氘氣穿透所述三明治復(fù)合結(jié)構(gòu)的氮化鈦薄膜擴(kuò)散進(jìn)入金屬鈦薄膜，得到吸附氘氣的復(fù)合結(jié)構(gòu)；將所述吸附氘氣的復(fù)合結(jié)構(gòu)在真空條件下進(jìn)行第二加熱，將氘氣完全脫附；通過(guò)檢測(cè)氘氣的脫附量得到氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散性能。本發(fā)明提供的是基于溫度驅(qū)動(dòng)氘粒子輸運(yùn)的氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散檢測(cè)方法，不會(huì)破壞氮化鈦薄膜，且能夠真實(shí)、高靈敏度的反映氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散性能。

本發(fā)明授權(quán)一種氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散性能的檢測(cè)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散性能的檢測(cè)方法，其特征在于，包括以下步驟： 1將氮化鈦薄膜制備成三明治復(fù)合結(jié)構(gòu)；所述三明治復(fù)合結(jié)構(gòu)包括硅基底和依次層疊于所述硅基底上的金屬鈦薄膜和氮化鈦薄膜； 2將所述三明治復(fù)合結(jié)構(gòu)在氘氣氣氛中進(jìn)行第一加熱，氘氣穿透所述三明治復(fù)合結(jié)構(gòu)的氮化鈦薄膜擴(kuò)散進(jìn)入金屬鈦薄膜，得到吸附氘氣的復(fù)合結(jié)構(gòu)； 3將所述吸附氘氣的復(fù)合結(jié)構(gòu)在真空條件下進(jìn)行第二加熱，將所述吸附氘氣的復(fù)合結(jié)構(gòu)中的氘氣完全脫附；通過(guò)檢測(cè)氘氣的脫附量得到氮化鈦薄膜抑氫擴(kuò)散性能。

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