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龍圖騰網(wǎng)獲悉西安中科華芯測控有限公司申請的專利一種三軸閉環(huán)加速度傳感器及其監(jiān)測系統(tǒng)和方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN114814290B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202210501559.7，技術領域涉及：G01P15/03；該發(fā)明授權一種三軸閉環(huán)加速度傳感器及其監(jiān)測系統(tǒng)和方法是由徐金濤;劉尚波;段啟航;王嘉;石念寶;曹輝;李莉;王輝設計研發(fā)完成，并于2022-05-09向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本一種三軸閉環(huán)加速度傳感器及其監(jiān)測系統(tǒng)和方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種三軸閉環(huán)加速度傳感器及其監(jiān)測系統(tǒng)和方法，三軸閉環(huán)加速度傳感器包括：沿豎直方向自上而下依次設置的頂層結構、加速度敏感結構和底層鏡面結構，加速度敏感結構和頂層結構構成法布里珀羅干涉腔，沿豎直方向，加速度敏感結構和頂層結構之間的高度為法布里珀羅干涉腔的腔長；頂層結構用于接收紅外光，紅外光依次穿射頂層結構和加速度敏感結構后在法布里珀羅干涉腔內發(fā)生多次反射，并最終穿透底層鏡面結構形成多光束干涉；加速度敏感結構包括質量塊，質量塊可沿豎直方向移動，腔長根據(jù)質量塊的移動距離變化，隨之使穿射底層鏡面結構的多光束干涉光強發(fā)生變化；利用頂層結構、底層鏡面結構上的金屬電極層形成靜電力反饋調制。

本發(fā)明授權一種三軸閉環(huán)加速度傳感器及其監(jiān)測系統(tǒng)和方法在權利要求書中公布了：1.一種包括三軸閉環(huán)加速度傳感器的加速度監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，所述三軸閉環(huán)加速度傳感器包括： 沿豎直方向自上而下依次設置的頂層結構1、加速度敏感結構2和底層鏡面結構3； 所述加速度敏感結構2和所述底層鏡面結構3構成法布里珀羅干涉腔，沿所述豎直方向，所述加速度敏感結構2和所述底層鏡面結構3之間的高度為所述法布里珀羅干涉腔的腔長； 所述頂層結構1用于接收紅外光，所述紅外光依次穿射所述頂層結構1和所述加速度敏感結構2后進入法布里珀羅干涉腔，并在法布里珀羅干涉腔內發(fā)生多次反射，多束反射光分別穿射所述底層鏡面結構3，穿射后形成多光束干涉； 所述加速度敏感結構2包括質量塊22，所述質量塊22可沿豎直方向移動，所述腔長根據(jù)所述質量塊22的移動距離變化，所述法布里珀羅干涉腔用于根據(jù)所述腔長變化改變所述多光束干涉的強度； 所述底層鏡面結構3用于構成所述法布里珀羅干涉腔的下表面、并輸出多光束干涉光； 所述頂層結構1包括鏡面主體和電極部分，所述電極部分包括多個“L”型電極，且多個“L”型電極陣列設置于所述鏡面主體上，每個所述“L”型電極具有”1”部12和”一”部11，所述”1”部12貫穿所述鏡面主體設置，所述”一”部11貼設與所述鏡面主體靠近所述加速度敏感結構2的一側；所述”1”部12構造為硅穿孔電極，所述”一”部11構造為金屬電極； 所述加速度敏感結構2還包括彈簧梁支撐件21和結構框體24，所述質量塊22位于所述結構框體24的幾何中心，所述彈簧梁支撐件21連接所述質量塊22和所述結構框體24，以用于支撐所述質量塊22沿豎直方向上的移動； 所述加速度敏感結構2還包括接觸凸臺23，所述接觸凸臺23支撐于所述結構框體24和所述底層鏡面結構3之間，以用于給所述質量塊22提供活動空間； 所述底層鏡面結構3包括底層主體、接觸電極32和外部電極33，所述底層鏡面結構3靠近所述加速度敏感結構2的一側構造為電極面，所述接觸電極32和所述外部電極33均設置于所述電極面上，并且，所述接觸電極32同時連接所述接觸凸臺23和所述外部電極33，以通過所述接觸電極32貫通所述外部電極33和所述加速度敏感結構2； 所述底層主體靠近所述加速度敏感結構2的一側開設有2個U型槽，2個所述U型槽關于所述底層主體的長度的中線對稱設置，2個所述U型槽之間設置有第二金屬電極31，所述U型槽中設置有ASIC電路34，每個所述U型槽的另一側分別設置一組接觸電極32和外部電極33。

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