浜松光子學(xué)株式會社是松克洋獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉浜松光子學(xué)株式會社申請的專利激光加工裝置和激光加工方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115335184B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202180024761.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B23K26/53;該發(fā)明授權(quán)激光加工裝置和激光加工方法是由是松克洋設(shè)計研發(fā)完成,并于2021-03-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本激光加工裝置和激光加工方法在說明書摘要公布了:一種激光加工裝置,其用于對于對象物照射激光而形成改性區(qū)域,所述激光加工裝置包括:用于支承所述對象物的支承部;用于對由所述支承部支承的所述對象物照射所述激光的激光照射部;移動機(jī)構(gòu),其通過使所述支承部和所述激光照射部中的至少一者移動而使所述激光的聚光點(diǎn)相對于所述對象物進(jìn)行相對移動;和控制所述激光照射部和所述移動機(jī)構(gòu)的控制部。在所述對象物,從與所述激光的入射面交叉的方向觀察時,設(shè)定有沿第1方向延伸的第1線、和沿與所述第1方向交叉的第2方向越過所述第1線而延伸的第2線。
本發(fā)明授權(quán)激光加工裝置和激光加工方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種激光加工裝置,其用于對于對象物照射激光而形成改性區(qū)域,所述激光加工裝置的特征在于,包括: 用于支承所述對象物的支承部; 用于對由所述支承部支承的所述對象物照射所述激光的激光照射部; 移動機(jī)構(gòu),其使所述支承部和所述激光照射部中的至少一者移動而使所述激光的聚光點(diǎn)相對于所述對象物進(jìn)行相對移動;和 控制所述激光照射部和所述移動機(jī)構(gòu)的控制部, 在所述對象物,從與所述激光的入射面交叉的方向觀察時,設(shè)定有沿第1方向延伸的第1線、和沿與所述第1方向交叉的第2方向越過所述第1線而延伸的第2線, 所述控制部執(zhí)行如下的第1處理、第2處理和第3處理, 所述第1處理,通過對所述激光照射部和所述移動機(jī)構(gòu)的控制,一邊使所述聚光點(diǎn)沿所述第1線進(jìn)行相對移動一邊對所述對象物照射所述激光,由此沿所述第1線形成所述改性區(qū)域, 所述第2處理,在所述第1處理之后,通過對所述激光照射部和所述移動機(jī)構(gòu)的控制,形成所述激光的第1聚光點(diǎn)和與所述第1聚光點(diǎn)相比位于所述對象物的所述入射面一側(cè)的所述激光的第2聚光點(diǎn),并且以使得從在所述第1聚光點(diǎn)形成的所述改性區(qū)域延伸的裂紋與從在所述第2聚光點(diǎn)形成的所述改性區(qū)域延伸的裂紋彼此不相連的方式,一邊使所述第1聚光點(diǎn)及所述第2聚光點(diǎn)沿所述第2線進(jìn)行相對移動,一邊對所述對象物照射所述激光,由此沿所述第2線形成所述改性區(qū)域, 所述第3處理,在所述第2處理之后,通過對所述激光照射部和所述移動機(jī)構(gòu)的控制,在與所述入射面交叉的方向上的所述第1聚光點(diǎn)的第1位置與所述第2聚光點(diǎn)的第2位置之間的第3位置形成所述激光的第3聚光點(diǎn),并且一邊使所述第3聚光點(diǎn)沿所述第2線進(jìn)行相對移動,一邊對所述對象物照射所述激光,由此在所述第3位置沿所述第2線形成所述改性區(qū)域,從而形成遍及在形成于所述第1位置的所述改性區(qū)域與形成于所述第2位置的所述改性區(qū)域之間的裂紋, 所述控制部在所述第2處理中,使從作為在所述第1聚光點(diǎn)形成的所述改性區(qū)域的第1改性區(qū)域延伸的裂紋不到達(dá)所述對象物的與所述入射面相反側(cè)的背面,并且使從作為在所述第2聚光點(diǎn)形成的所述改性區(qū)域的第2改性區(qū)域延伸的裂紋不到達(dá)所述入射面, 所述控制部在所述第3處理中,形成遍及在所述第1改性區(qū)域與所述第2改性區(qū)域之間的裂紋,并且使從所述第1改性區(qū)域延伸的裂紋到達(dá)所述背面,使從所述第2改性區(qū)域延伸的裂紋到達(dá)所述入射面。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人浜松光子學(xué)株式會社,其通訊地址為:日本靜岡縣;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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