三星電子株式會社;株式會社ADEKA柳承旻獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉三星電子株式會社;株式會社ADEKA申請的專利有機金屬加成化合物以及使用其制造集成電路的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113402544B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110210695.6,技術領域涉及:C07F9/09;該發明授權有機金屬加成化合物以及使用其制造集成電路的方法是由柳承旻;金在員;樸圭熙;曹侖廷;齋藤和也;小出幸宜;真鍋芳樹;青木雄太郎;內生藏廣幸;布施若菜設計研發完成,并于2021-02-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本有機金屬加成化合物以及使用其制造集成電路的方法在說明書摘要公布了:公開了有機金屬加成化合物以及制造集成電路IC器件的方法,該有機金屬加成化合物由通式I表示:通式I在通式I中,R1、R2和R3各自獨立地為C1至C5烷基,R1、R2和R3中的至少一個為其中至少一個氫原子被氟原子取代的C1至C5烷基,M為鈮原子、鉭原子或釩原子,X為鹵素原子,m為3至5的整數,并且n為1或2。
本發明授權有機金屬加成化合物以及使用其制造集成電路的方法在權利要求書中公布了:1.一種由通式I表示的有機金屬加成化合物: 通式I 其中,在通式I中, R1、R2和R3各自獨立地為三氟甲基、三氟乙基、六氟異丙基或九氟叔丁基, M為鈮原子、鉭原子或釩原子, X為鹵素原子, m為3至5的整數,并且 n為1或2。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人三星電子株式會社;株式會社ADEKA,其通訊地址為:韓國京畿道;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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