浜松光子學株式會社中村共則獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浜松光子學株式會社申請的專利高度測量裝置及高度測量方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115104002B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202180013788.8,技術領域涉及:G01B11/24;該發明授權高度測量裝置及高度測量方法是由中村共則;土屋邦彥設計研發完成,并于2021-02-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本高度測量裝置及高度測量方法在說明書摘要公布了:本發明的高度測量裝置具備:光照射部,其將包含多個光束的照射光以相對于樣品的高度方向傾斜的角度照射至樣品,該多個光束在與光軸方向交叉的方向上排列且波長互不相同;相機系統,其檢測來自被照射有照射光的樣品的光,并輸出該光的波長信息;及控制裝置,其基于波長信息而計算樣品的高度;且相機系統具有:傾斜二向色反射鏡,其透過率及反射率在特定波長區域內根據波長而變化,通過使來自樣品的光透過及反射而將該光分離;光檢測器,其從已在傾斜二向色反射鏡反射的光檢測反射光量;光檢測器,其從已透過傾斜二向色反射鏡的光檢測透過光量;及處理部,其基于反射光量與透過光量的比,計算波長信息并將其輸出。
本發明授權高度測量裝置及高度測量方法在權利要求書中公布了:1.一種高度測量裝置,其具備: 光照射部,其將包含多個光束的照射光以相對于測定對象物的高度方向傾斜的角度照射至所述測定對象物,該多個光束在與光軸方向交叉的方向上排列且波長互不相同; 光檢測部,其檢測來自被照射有所述照射光的所述測定對象物的光,并輸出該光的波長信息;及 解析部,其基于所述波長信息計算所述測定對象物的高度, 所述光檢測部具有: 光學元件,其透過率及反射率在特定波長區域內根據波長而變化,通過使來自所述對象物的光透過及反射而將該光分離; 第1光檢測器,其從已在所述光學元件反射的光檢測反射光量; 第2光檢測器,其從已透過所述光學元件的光檢測透過光量;及 處理部,其基于所述反射光量與所述透過光量的比,計算所述波長信息并將其輸出。
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