寧波南大光電材料有限公司齊國強獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉寧波南大光電材料有限公司申請的專利一種光刻膠組合物及其制備方法獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN112764313B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202110089814.7,技術領域涉及:G03F7/004;該發(fā)明授權一種光刻膠組合物及其制備方法是由齊國強;顧大公;岳力挽;李珊珊;馬瀟;毛智彪;許從應設計研發(fā)完成,并于2021-01-22向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本一種光刻膠組合物及其制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明實施例提供了一種光刻膠組合物及其制備方法,該光刻膠組合物包括以下原料:0.1?10重量組分的光致酸產(chǎn)生劑、10?30重量組分的成膜樹脂、0.1?5重量組分的酸擴散抑制劑以及55?89.8重量組分的有機溶劑A;其中所述光致酸產(chǎn)生劑為含雙酯結構的光致酸產(chǎn)生劑,所述酸擴散抑制劑為含有羥基功能單元和堿性功能單元的酸擴散抑制劑。本發(fā)明實施例提供的光刻膠組合物在采用含雙酯結構的光致酸產(chǎn)生劑的條件下,通過添加含有羥基功能單元和堿性功能單元的酸擴散抑制劑,進一步改善了光刻膠的線寬粗糙度,提高了光刻膠的分辨率,增強了光刻膠的成膜能力。
本發(fā)明授權一種光刻膠組合物及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種光刻膠組合物,其特征在于,包括以下原料:0.1-10重量組分的光致酸產(chǎn)生劑、10-30重量組分的成膜樹脂、0.1-5重量組分的酸擴散抑制劑以及55-89.8重量組分的有機溶劑A; 所述光致酸產(chǎn)生劑為含雙酯結構的光致酸產(chǎn)生劑,具體結構通式如下: 其中,通式1中R1、R2為氫原子數(shù)1~40且碳原子數(shù)為1~20的烷基,Q+為硫鎓鹽陽離子或碘鎓鹽陽離子; 其中,所述酸擴散抑制劑為: 其中,通式2中n為5-200; 其中,所述含雙酯結構的光致酸產(chǎn)生劑的制備方法為: S1、將馬來酸酐溶解于有機溶劑B后,加入醇類有機化合物以及催化劑,攪拌均勻后升溫進行酯化反應,得到丁二酸酯類化合物;其中,所述醇類有機化合物為飽和醇類有機化合物,所述催化劑為濃硫酸、對甲苯磺酸中的一種或多種; S2、將所述丁二酸酯類化合物與亞硫酸鹽在水溶液中混合均勻后升溫進行反應,得到雙酯基磺酸鹽; S3、將所述雙酯基磺酸鹽與含有硫鎓鹽陽離子或碘鎓鹽陽離子的水溶液中配合生成所述含雙酯結構的光致酸產(chǎn)生劑。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢嗳?a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://iptop.www.gztjhr.cn/list?keyword=%E5%AE%81%E6%B3%A2%E5%8D%97%E5%A4%A7%E5%85%89%E7%94%B5%E6%9D%90%E6%96%99%E6%9C%89%E9%99%90%E5%85%AC%E5%8F%B8&temp=1">寧波南大光電材料有限公司,其通訊地址為:315800 浙江省寧波市北侖區(qū)柴橋街道青山路21號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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