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龍圖騰網獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利一種基板的傳輸方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114678308B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011561477.9，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種基板的傳輸方法及系統是由劉凱;胡松立設計研發完成，并于2020-12-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基板的傳輸方法及系統在說明書摘要公布了：本發明公開了一種基板的傳輸方法及系統。傳輸方法包括步驟：S101：機械手沿Y軸方向伸入板庫，到達第一取板位置；S102：獲取基板與X軸平行的邊緣的圖像信息，計算得到基板在Y軸方向上的第一偏移量，以及繞Z軸的旋轉方向Rz上的第一偏轉量；獲取基板與Y軸平行的邊緣的位置信息，計算得到基板在X軸方向上的第二偏移量；X軸、Y軸和Z軸兩兩垂直；S103：補償基板在Rz方向上的第一偏轉量、在X軸方向上的第二偏移量以及在Y軸方向上的第一偏移量；S104：機械手將基板傳輸于工作臺的第一目標位置。本發明無需單獨設置預對準工位進行基板的調節，有助于提高傳輸效率，使傳輸系統的結構更加緊湊。

本發明授權一種基板的傳輸方法及系統在權利要求書中公布了：1.一種基板的傳輸方法，用于實現基板（201）由板庫（102）到工作臺（104）的傳輸，其特征在于，所述傳輸方法包括如下步驟： S101：機械手（101）沿Y軸方向伸入板庫（102），到達第一取板位置； S102：獲取基板（201）與X軸平行的邊緣的圖像信息，計算得到基板（201）在Y軸方向上的第一偏移量，以及繞Z軸的旋轉方向Rz上的第一偏轉量；獲取基板（201）與Y軸平行的邊緣的位置信息，計算得到基板（201）在X軸方向上的第二偏移量；X軸、Y軸和Z軸兩兩垂直； S103：補償基板（201）在Rz方向上的第一偏轉量、在X軸方向上的第二偏移量以及在Y軸方向上的第一偏移量； S104：機械手（101）將基板（201）傳輸于工作臺（104）的第一目標位置； 所述傳輸方法還用于實現基板（201）由工作臺（104）到板庫（102）的傳輸，具體包括以下步驟： S201：機械手（101）到達工作臺（104）處的第二取板位置； S202：獲取基板（201）與X軸平行的邊緣的圖像信息，計算得到基板（201）在Y軸方向上的第三偏移量，以及繞Z軸的旋轉方向Rz上的第二偏轉量；獲取基板（201）與Y軸平行的邊緣的位置信息，計算得到基板（201）在X軸方向上的第四偏移量； S203：機械手（101）將基板（201）放回板庫（102）之前，補償基板（201）在Rz方向上的第二偏轉量和在X軸方向上的第四偏移量； S204：機械手（101）沿Y軸方向進入板庫（102），并補償基板（201）在Y軸方向上的第三偏移量； S205：機械手（101）將基板（201）傳輸于板庫（102）的第二目標位置； 基板（201）與Y軸平行的邊緣的位置信息通過以下方式獲取： 獲取基板（201）與Y軸平行的邊緣的圖像信息；或 通過檢測機構獲取基板（201）與Y軸平行的邊緣與檢測機構在X軸方向上的間距。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區自由貿易試驗區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。