歐瑞康表面處理解決方案股份公司普費菲孔尤爾根·格溫伯格獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉歐瑞康表面處理解決方案股份公司普費菲孔申請的專利用于保持待處理工件的移動式工件承載裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114008757B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080045253.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權用于保持待處理工件的移動式工件承載裝置是由尤爾根·格溫伯格;齊格弗里德·克拉斯庫茨設計研發完成，并于2020-05-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于保持待處理工件的移動式工件承載裝置在說明書摘要公布了：一種要安裝在真空處理系統的真空室內的工件承載裝置，包括：?具有直徑dX的轉臺X；?一個或多個具有直徑dYmdX的轉臺Ym，其能被安裝在轉臺X上；?一個或多個具有直徑dZn≤dYm的工件支架Zn，其能安裝在所述一個或多個轉臺Ym上；?兩個致動器A1和A2。
本發明授權用于保持待處理工件的移動式工件承載裝置在權利要求書中公布了：1.一種工件承載裝置，用于保持要安裝在真空處理系統的真空室內的待處理的工件，包括： -一個具有直徑dX的轉臺X， -一個或多個具有直徑dYm的轉臺Ym，其能安裝在所述轉臺X上，所述直徑dYm所述直徑dX， -一個或多個具有直徑dZn的工件支架Zn，其能安裝在所述一個或多個轉臺Ym上，所述直徑dZn≤所述直徑dYm， -第一致動器A1和第二致動器A2， 其特征是，在所述第一致動器A1、所述第二致動器A2與轉臺X和轉臺Ym之間的強制連接利用傳動機構按以下方式來建立，其允許該真空處理系統的至少兩種工作模式，其中， -在模式1中，第一致動器A1被提供動力而第二致動器A2未被提供動力，使得轉臺X繞其中心旋轉軸線Rx轉動，并且， -在模式2中，第一致動器A1未被提供動力而第二致動器A2被提供動力，使得轉臺Ym繞其中心旋轉軸線RYm轉動，而轉臺X原地不動，并且 壁布置在一個轉臺Ym的旁邊或者多個轉臺Ym之間，其中，所述壁豎向安裝在一個轉臺Ym的旁邊或者多個轉臺Ym之間并且安裝在轉臺X上方，其中，所述壁顯示出高度和寬度，它足以完全地將安裝有一個轉臺Ym的區段與相鄰區段分開。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人歐瑞康表面處理解決方案股份公司普費菲孔，其通訊地址為：瑞士普費菲孔；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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