浙江斯凱沃微電子有限公司何波獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江斯凱沃微電子有限公司申請的專利一種金剛石拋光過程中拋光液顆粒在線檢測系統及方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120253584B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510724885.8,技術領域涉及:G01N15/00;該發明授權一種金剛石拋光過程中拋光液顆粒在線檢測系統及方法是由何波;楊陽;凌觀爽設計研發完成,并于2025-06-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種金剛石拋光過程中拋光液顆粒在線檢測系統及方法在說明書摘要公布了:本發明涉及材料檢測技術領域,具體為一種金剛石拋光過程中拋光液顆粒在線檢測系統及方法,包括通過顆粒大小識別模型識別拋光液中顆粒的粒徑信息;結合不同的光學激發條件對檢測區域中顆粒進行動態激發;同步采集顆粒經過動態激發后產生的第一激發響應、第二激發響應和第三激發響應;設定第四激發條件對顆粒進行靜態激發,并檢測顆粒經過靜態激發后產生的第四激發響應;將第一激發響應、第二激發響應、第三激發響應和第四激發響應進行組合,形成多模態顆粒特征向量;將多模態顆粒特征向量與預設金剛石模型進行匹配,識別出金剛石顆粒并區分非金剛石雜質顆粒,輸出金剛石顆粒的濃度與粒徑分布信息。
本發明授權一種金剛石拋光過程中拋光液顆粒在線檢測系統及方法在權利要求書中公布了:1.一種金剛石拋光過程中拋光液顆粒在線檢測系統,其特征在于,包括: 顆粒大小識別模塊,用于將拋光液以預設速率引導至檢測區域,并通過顆粒大小識別模型識別拋光液中顆粒的粒徑信息; 動態激發模塊,用于結合不同的光學激發條件對檢測區域中顆粒進行動態激發;光學激發條件包括第一激發條件、第二激發條件和第三激發條件;第一激發條件為設定M個不同的激光波長進行照射;第二激發條件為設定N個不同的激光入射角度進行照射;第三激發條件包括第一偏振角度、第二偏振角度和第三偏振角度;第三激發條件基于所述粒徑信息進行動態調整,具體包括:若粒徑信息小于預設第一閾值,則選擇第一偏振角度;若粒徑信息大于和或等于預設第一閾值且小于和或等于預設第二閾值時,則選擇第二偏振角度;若粒徑信息大于預設第二閾值,則選擇第三偏振角度; 動態激發響應采集模塊,用于同步采集顆粒經過動態激發后產生的第一激發響應、第二激發響應和第三激發響應; 靜態激發與檢測模塊,用于設定第四激發條件對顆粒進行靜態激發,并檢測顆粒經過靜態激發后產生的第四激發響應;第四激發條件為使用預設波長的紫外光源進行持續照射,激發顆粒的熒光響應,得到第四激發響應; 特征分析與識別模塊,包括模型匹配與分類單元,用于將第一激發響應、第二激發響應、第三激發響應和第四激發響應進行組合,形成多模態顆粒特征向量;模型匹配與分類單元通過監督式機器學習算法將多模態顆粒特征向量與預設金剛石模型進行匹配,輸出顆粒為金剛石和非金剛石雜質的分類結果和置信度,識別出金剛石顆粒并區分非金剛石雜質顆粒;根據分類結果和置信度輸出金剛石顆粒的濃度與粒徑分布信息;預設金剛石模型基于已知金剛石顆粒和典型雜質顆粒數據訓練得到。
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