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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市賽彌康電子科技有限公司申請的專利一種半導(dǎo)體料板用自動裝卸控制系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120149218B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510632137.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體料板用自動裝卸控制系統(tǒng)是由黃建華;彭飛鵬;黃玉輝設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-05-16向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種半導(dǎo)體料板用自動裝卸控制系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體料板用自動裝卸控制系統(tǒng)，包括：視覺定位與形貌檢測模塊；夾持力動態(tài)控制模塊；路徑規(guī)劃與避障模塊：基于料板堆疊參數(shù)劃分裝卸區(qū)域安全層級，采用改進(jìn)路徑搜索算法生成避障軌跡；根據(jù)機(jī)械臂關(guān)節(jié)負(fù)載數(shù)據(jù)優(yōu)化路徑的加速度曲線；閉環(huán)驗證模塊：將機(jī)械臂末端實際位姿與目標(biāo)坐標(biāo)進(jìn)行偏差比對，若超限則觸發(fā)視覺定位與形貌檢測模塊至路徑規(guī)劃與避障模塊的協(xié)同復(fù)位；所述視覺定位與形貌檢測模塊至閉環(huán)驗證模塊按順序執(zhí)行，前一模塊的輸出參數(shù)作為后一模塊的輸入?yún)?shù)。通過模塊之間的緊密配合，實現(xiàn)了高效且精準(zhǔn)的自動裝卸控制，不僅提高了自動化水平，還保障了操作安全和精度。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體料板用自動裝卸控制系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體料板用自動裝卸控制系統(tǒng)，其特征在于，包括依次連接的以下模塊： 視覺定位與形貌檢測模塊： 通過多光譜成像消除料板表面反光干擾，結(jié)合亞像素級邊緣定位算法計算料板中心坐標(biāo)； 基于雙目視覺生成料板表面三維點云模型，提取翹曲高度和邊緣傾角參數(shù)； 夾持力動態(tài)控制模塊： 根據(jù)表面形貌參數(shù)和實時壓力分布數(shù)據(jù)，通過模糊控制算法調(diào)整夾爪伺服電機(jī)的輸出扭矩； 當(dāng)檢測到局部壓力異常變化時，觸發(fā)高頻微振動機(jī)構(gòu)調(diào)整料板位姿； 路徑規(guī)劃與避障模塊： 基于料板堆疊參數(shù)劃分裝卸區(qū)域安全層級，采用改進(jìn)路徑搜索算法生成避障軌跡，堆疊參數(shù)包括翹曲高度和邊緣傾角參數(shù)； 根據(jù)機(jī)械臂關(guān)節(jié)負(fù)載數(shù)據(jù)優(yōu)化路徑的加速度曲線； 所述改進(jìn)路徑搜索算法的避障策略包括： 通過ToF傳感器獲取障礙物的三維輪廓數(shù)據(jù)，將障礙物邊界向外擴(kuò)展形成膨脹區(qū)域，所述擴(kuò)展形成膨脹區(qū)域的距離根據(jù)機(jī)械臂末端執(zhí)行器的運動包絡(luò)半徑確定； 在路徑搜索過程中，將膨脹區(qū)域內(nèi)的網(wǎng)格標(biāo)記為不可通行節(jié)點，采用動態(tài)權(quán)重A*算法繞過不可通行節(jié)點； 所述動態(tài)權(quán)重包括路徑長度權(quán)重、關(guān)節(jié)扭矩需求權(quán)重及加速度平滑性權(quán)重，各權(quán)重系數(shù)根據(jù)機(jī)械臂當(dāng)前負(fù)載慣量實時分配； 閉環(huán)驗證模塊： 將機(jī)械臂末端實際位姿與目標(biāo)坐標(biāo)進(jìn)行偏差比對，若超限則觸發(fā)視覺定位與形貌檢測模塊至路徑規(guī)劃與避障模塊的協(xié)同復(fù)位； 所述視覺定位與形貌檢測模塊至閉環(huán)驗證模塊按順序執(zhí)行，前一模塊的輸出參數(shù)作為后一模塊的輸入?yún)?shù)。

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