青島海存微電子有限公司李淑慧獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉青島海存微電子有限公司申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其形成方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN119654054B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202510168277.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10N50/10;該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其形成方法是由李淑慧;張明超;劉宏喜;王戈飛設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2025-02-17向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本半導(dǎo)體存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其形成方法在說明書摘要公布了:本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其形成方法,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,用于提高半導(dǎo)體存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)性能。該結(jié)構(gòu)包括:自旋軌道矩層,以及設(shè)置在自旋軌道矩層上的存儲(chǔ)磁隧道結(jié)、虛設(shè)磁隧道結(jié)和介質(zhì)層;虛設(shè)磁隧道結(jié)位于存儲(chǔ)磁隧道結(jié)的旁側(cè);介質(zhì)層至少填滿存儲(chǔ)磁隧道結(jié)和虛設(shè)磁隧道結(jié)之間的空隙;自旋軌道矩層以存儲(chǔ)磁隧道結(jié)、虛設(shè)磁隧道結(jié)和介質(zhì)層為掩模刻蝕形成。本申請(qǐng)?zhí)峁┑陌雽?dǎo)體存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其形成方法無需為自旋軌道矩層設(shè)置光罩,能夠簡(jiǎn)化形成過程,同時(shí)還可以避免存儲(chǔ)磁隧道結(jié)和自旋軌道矩層產(chǎn)生套刻偏移,保證存儲(chǔ)磁隧道結(jié)和自旋軌道矩層對(duì)準(zhǔn),從而提高寫入電流效率,以提高半導(dǎo)體存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)的性能。
本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)及其形成方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:自旋軌道矩層,以及設(shè)置在所述自旋軌道矩層上的存儲(chǔ)磁隧道結(jié)、虛設(shè)磁隧道結(jié)和介質(zhì)層; 所述虛設(shè)磁隧道結(jié)位于所述存儲(chǔ)磁隧道結(jié)的旁側(cè); 所述介質(zhì)層至少填滿所述存儲(chǔ)磁隧道結(jié)和所述虛設(shè)磁隧道結(jié)之間的空隙; 所述自旋軌道矩層以所述存儲(chǔ)磁隧道結(jié)、所述虛設(shè)磁隧道結(jié)和所述介質(zhì)層為掩模刻蝕形成。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人青島海存微電子有限公司,其通訊地址為:266000 山東省青島市黃島區(qū)映山紅路117號(hào)1棟1605室(原黃島區(qū)科教二路117號(hào)1棟研發(fā)中心辦公室);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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