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龍圖騰網獲悉南京理工大學申請的專利一種柔性彈性氧化物鐵電薄膜傳感器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116133508B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111339292.8，技術領域涉及：H10N30/88；該發明授權一種柔性彈性氧化物鐵電薄膜傳感器是由袁國亮;邢益菘;唐曉龍;張驥設計研發完成，并于2021-11-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種柔性彈性氧化物鐵電薄膜傳感器在說明書摘要公布了：本發明公開了一種柔性彈性氧化物鐵電薄膜傳感器。該傳感器具有褶皺結構，包括依次連接的金箔、絕緣薄膜、平行下電極、氧化物鐵電薄膜、平行上電極。本發明的傳感器，氧化物鐵電薄膜是傳感器的功能層，“下電極鐵電薄膜上電極”是傳感器基本單元，平行下電極與平行上電極相互垂直，形成由若干單元構成的傳感器，傳感器的厚度為0.5μm至10μm，含有規則排列的褶皺結構，因此傳感器柔韌性好，具有彈性和延展性，可以轉移到人體和動物皮膚、植物表皮、人造有機物或無機物表面，并感知上述物體應變和溫度變化。

本發明授權一種柔性彈性氧化物鐵電薄膜傳感器在權利要求書中公布了：1.一種柔性彈性鐵電氧化物薄膜傳感器，其特征在于，該傳感器具有褶皺結構，包括依次連接的金箔、絕緣薄膜、平行下電極、氧化物鐵電薄膜、平行上電極，其中，氧化物鐵電薄膜選自PZT、PMN-PT、BaTiO3中的任意一種； 由如下步驟制備： 步驟一，將金箔轉移至耐700度以上高溫和表面平整的硬質基片上，通過銀漿將金箔的四邊粘接和固定在硬質基片上，獲得硬質基片金箔樣品； 步驟二，將硬質基片金箔放入真空生長腔，在金箔表面生長絕緣薄膜，獲得硬質基片金箔絕緣薄膜樣品； 步驟三，采用掩膜版或者光刻技術，在絕緣薄膜表面，生長金電極作為平行下電極，獲得硬質基片金箔絕緣薄膜平行下電極樣品； 步驟四，在平行下電極表面，在高溫和氧氣環境中生長氧化物鐵電薄膜，獲得硬質基片金箔絕緣薄膜平行下電極氧化物鐵電薄膜樣品； 步驟五，采用掩膜版或者光刻技術，在絕緣薄膜表面，生長金電極作為平行上電極，獲得硬質基片金箔絕緣薄膜平行下電極氧化物鐵電薄膜平行上電極樣品； 步驟六，將硬質基片從上述樣品中去掉，獲得自支撐的傳感器； 步驟七，將彈性體面內相互垂直的兩個方向雙向拉伸至最大值，將步驟六獲得的自支撐的傳感器轉移到該雙向拉伸的彈性體表面，在上述垂直的兩個方向上交替釋放彈性物的拉伸力后讓彈性物恢復原狀，每次釋放拉伸力后減小的應變小于1%，彈性體應變釋放后傳感器在彈性物表面形成褶皺結構，形成柔性彈性鐵電氧化物薄膜傳感器； 其中，步驟四中，當氧化物鐵電薄膜為PZT時，高溫溫度為600-700度；當氧化物鐵電薄膜為PMN-PT時，高溫溫度為600-700度；當氧化物鐵電薄膜為BaTiO3時，高溫溫度為700-800度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南京理工大學，其通訊地址為：210094 江蘇省南京市玄武區孝陵衛200號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。