清華大學;華海清科股份有限公司劉遠航獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉清華大學;華海清科股份有限公司申請的專利一種晶圓支撐裝置和晶圓清洗裝置獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113130371B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：201911407703.5，技術領域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權一種晶圓支撐裝置和晶圓清洗裝置是由劉遠航;趙德文;王江濤設計研發(fā)完成，并于2019-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓支撐裝置和晶圓清洗裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種晶圓支撐裝置和晶圓清洗裝置，晶圓支撐裝置包括支撐組件，所述支撐組件移動以水平支撐晶圓；至少一支撐組件可相對于其移動方向擺動以調節(jié)支撐組件的位置。本發(fā)明所述晶圓支撐裝置使得支撐輥與晶圓的外緣均勻接觸，保證晶圓的可靠支撐，設置在晶圓側部的清洗刷有效去除晶圓表面的雜物，實現晶圓表面的清洗。
本發(fā)明授權一種晶圓支撐裝置和晶圓清洗裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓支撐裝置，其特征在于，包括支撐組件，所述支撐組件移動以水平支撐晶圓；至少一支撐組件可相對于其移動方向擺動以調節(jié)支撐組件的位置； 所述支撐組件包括支撐板和支撐輥，支撐板上設置有主動支撐輥和從動支撐輥，所述支撐組件擺動以調節(jié)支撐輥與晶圓外緣的間隙；所述支撐板通過回轉組件與移動組件連接，所述移動組件帶動支撐板及支撐輥相向移動以水平支撐晶圓；所述回轉組件包括連接軸和套筒，所述連接軸的一端與支撐組件連接，其另一端樞接于設置在移動組件的套筒；所述連接軸的端部與套筒內的襯套間隙配合，其繞襯套自適應轉動，以帶動支撐組件沿水平方向擺動；所述襯套由聚四氟乙烯制成； 所述支撐輥包括連接部和位于連接部頂部的支撐部，所述支撐部包括上支撐體、墊圈及下支撐體，所述墊圈設置于上支撐體與下支撐體形成的凹槽內；所述墊圈與上支撐體及下支撐體接觸的外側面和或部分頂面設置有間隙；所述墊圈與上支撐體及下支撐體觸的外側面之間的間隙為0.1mm-0.5mm。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人清華大學;華海清科股份有限公司，其通訊地址為：100084 北京市海淀區(qū)清華園1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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