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龍圖騰網獲悉長鑫存儲技術有限公司申請的專利一種襯底的清潔方法以及用于清潔襯底的系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116092915B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111315712.9，技術領域涉及：H01L21/02；該發明授權一種襯底的清潔方法以及用于清潔襯底的系統是由李世鴻設計研發完成，并于2021-11-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種襯底的清潔方法以及用于清潔襯底的系統在說明書摘要公布了：本公開實施例提供了一種襯底的清潔方法，所述方法包括：將所述襯底暴露于清洗劑，以去除位于所述襯底表面的雜質；將所述襯底暴露于液態去濕化學劑，以去除位于所述襯底的表面上的所述清洗劑；固化殘留在所述襯底的表面上的所述液態去濕化學劑得到固態去濕化學劑；升華并移除所述固態去濕化學劑。通過將液態去濕化學劑固化后進行升華移除的方法，固化后的去濕化學劑可以消除氣液界面，使得表面張力接近于零，在后續升華去除的過程中消除毛細力，減少毛細力對襯底結構的破壞，達到無損清潔的效果。同時，由于消除了毛細力的影響，能夠大大減少清洗劑和雜質在襯底表面的殘留。

本發明授權一種襯底的清潔方法以及用于清潔襯底的系統在權利要求書中公布了：1.一種襯底的清潔方法，其特征在于，包括： 通過將所述襯底暴露于清洗劑，去除位于所述襯底表面的雜質，包括：控制所述襯底以第三速度旋轉，將第一清洗劑噴灑在所述襯底的表面；控制所述襯底以第四速度旋轉，將第二清洗劑噴灑在所述襯底的表面，以去除位于所述襯底表面上的第一清洗劑； 通過將所述襯底暴露于液態去濕化學劑，去除位于所述襯底的表面上的所述清洗劑，包括：控制所述襯底以第一速度旋轉，將所述液態去濕化學劑噴灑在所述襯底的表面，以將殘留在所述襯底的表面上的所述清洗劑溶于所述液態去濕化學劑；控制所述襯底以第二速度旋轉，以去除位于所述襯底的表面上的部分所述液態去濕化學劑，其中，所述第二速度小于所述第一速度； 固化殘留在所述襯底的表面上的所述液態去濕化學劑得到固態去濕化學劑，包括：控制所述襯底以第五速度旋轉，控制腔室的溫度和或壓強，使得腔室中的溫度低于所述液態去濕化學劑的在腔室壓強下的凍結點，以使得殘留在所述襯底上的所述液態去濕化學劑凝固得到固態去濕化學劑；移除所述固態去濕化學劑，包括：控制所述襯底以第六速度旋轉，控制腔室的溫度和或壓強，使得腔室中的溫度高于所述固態去濕化學劑的在腔室壓強下的升華點，以使得所述固態去濕化學劑升華得到氣態去濕化學劑；其中，所述第一速度、所述第三速度和所述第四速度大于所述第六速度，所述第六速度大于所述第二速度和所述第五速度； 升華并移除所述固態去濕化學劑。

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