東京毅力科創株式會社林德太郎獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利接合裝置和接合方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115039199B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180010351.9，技術領域涉及：H01L21/02；該發明授權接合裝置和接合方法是由林德太郎;大塚慶崇;溝本康隆;池上和哉;児玉宗久設計研發完成，并于2021-01-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本接合裝置和接合方法在說明書摘要公布了：接合裝置將第一基板與第二基板進行接合來得到重合基板。所述第一基板包括基底基板和器件層，該器件層形成于所述基底基板的與所述第二基板相向的相向面。所述接合裝置具有：第一保持部，其保持所述第一基板；第二保持部，其保持所述第二基板；移動部，其使所述第一保持部和所述第二保持部相對地移動；以及總厚度測定控制部，其控制用于測定所述重合基板的總厚度的厚度檢測器，來在多個點處測定所述總厚度。
本發明授權接合裝置和接合方法在權利要求書中公布了：1.一種接合裝置，將第一基板與第二基板進行接合來得到重合基板， 所述第一基板包括基底基板和器件層，該器件層形成于所述基底基板的與所述第二基板相向的相向面， 所述接合裝置具有： 第一保持部，其保持所述第一基板； 第二保持部，其保持所述第二基板； 移動部，其使所述第一保持部和所述第二保持部相對地移動；以及 總厚度測定控制部，其控制用于測定所述重合基板的總厚度的厚度檢測器，來在多個點處測定所述總厚度， 所述接合裝置還具有基底厚度測定控制部，所述基底厚度測定控制部控制用于測定所述基底基板的厚度的厚度檢測器，來在所述多個點處測定所述基底基板的厚度， 所述接合裝置還具有其余厚度計算部，所述其余厚度計算部根據通過所述總厚度測定控制部而測定出的數據和通過所述基底厚度測定控制部而測定出的數據，來計算所述多個點處的、所述重合基板的除了所述基底基板以外的其余部分的厚度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號