ASM IP私人控股有限公司文炯哲獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASM IP私人控股有限公司申請的專利基板處理設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112885692B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011201957.4，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權基板處理設備是由文炯哲;鄭元基設計研發完成，并于2020-11-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理設備在說明書摘要公布了：一種能夠最小化下部空間中的填充氣體對基板處理的影響的基板處理設備包括：基板支撐單元；圍繞基板支撐單元的至少一個環；基板支撐單元上的處理單元；以及排氣單元，其連接到基板支撐單元和處理單元之間的反應空間，其中反應空間中的第一氣體通過第一通道傳輸到排氣單元，基板支撐單元下方的下部空間中的第二氣體通過第二通道傳輸到排氣單元，并且第一通道和第二通道被至少一個環分離。
本發明授權基板處理設備在權利要求書中公布了：1.一種基板處理設備，包括： 基板支撐單元； 圍繞基板支撐單元的至少一個環； 基板支撐單元上的處理單元；以及 排放單元，其連接到基板支撐單元和處理單元之間的反應空間， 其中，所述反應空間中的第一氣體通過第一通道傳輸到排放單元， 所述基板支撐單元下方的下部空間中的第二氣體通過第二通道傳輸到排放單元，并且 所述第一通道和第二通道被所述至少一個環分離， 所述至少一個環包括流動控制環，所述流動控制環相對于所述基板支撐單元橫向移動，來調節第二通道的寬度或間隔。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASM IP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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