應用材料公司S·普勞蒂獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利具有改良的接合層保護的基板支撐載體獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113853672B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080035413.7，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權具有改良的接合層保護的基板支撐載體是由S·普勞蒂;A·施密特;J·西蒙斯;S·班達設計研發完成，并于2020-04-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有改良的接合層保護的基板支撐載體在說明書摘要公布了：一種基板支撐基座包括靜電吸盤、冷卻基部、氣流通道、多孔塞和密封構件。靜電吸盤包括具有腔的主體。冷卻基部經由接合層耦接到靜電吸盤。氣流通道形成在靜電吸盤的頂表面與冷卻基部的底表面之間。氣流通道進一步包括腔。多孔塞定位于腔內，以控制通過氣流通道的氣流。所述密封構件鄰近所述多孔塞定位，且所述密封構件經配置形成以下各者中的一個或多個：所述多孔塞與所述腔之間的徑向密封以及所述多孔塞與所述冷卻基部之間的軸向密封。
本發明授權具有改良的接合層保護的基板支撐載體在權利要求書中公布了：1.一種靜電吸盤，包括： 主體，所述主體包括： 頂表面；以及 腔； 氣流通道，所述氣流通道在所述頂表面與冷卻基部的底表面之間形成，所述氣流通道包括所述腔并且由所述冷卻基部內的凹槽界定；以及 多孔塞，所述多孔塞定位在所述腔內，其中密封構件設置在所述凹槽中并且接觸所述多孔塞的底表面，所述密封構件經配置形成所述多孔塞與所述凹槽的底部之間的密封。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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