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龍圖騰網獲悉華海清科(北京)科技有限公司申請的專利化學機械拋光設備及化學機械拋光方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120134207B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510632674.1，技術領域涉及：B24B37/10；該發明授權化學機械拋光設備及化學機械拋光方法是由李洪陽;陳映松;許振杰;李長坤;王科設計研發完成，并于2025-05-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本化學機械拋光設備及化學機械拋光方法在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體晶圓加工技術領域,提供一種化學機械拋光設備及化學機械拋光方法。化學機械拋光設備包括：拋光盤；頂板，其下表面設有環形軌道；頭組件，包括驅動裝置和承載頭，驅動裝置的上端滑動安裝到環形軌道以驅動頭組件沿環形軌道滑動；驅動裝置的側部構造有凸出的限位部；頂板的下表面設有限位組件，包括第一擋塊和第二擋塊以及活動限位在二者之間的擺動限位件，擺動限位件與限位部在豎直方向上部分重疊，限位部經由擺動限位件在順時針方向上由第一擋塊限位、在逆時針方向上由第二擋塊限位，以使頭組件沿環形軌道的滑動范圍為360至380度，使得頭組件沿順時針或逆時針均能回到初始位與交互杯對心交互。

本發明授權化學機械拋光設備及化學機械拋光方法在權利要求書中公布了：1.一種化學機械拋光設備，用于晶圓加工，其特征在于，包括： 第一頭組件、第二頭組件、第三頭組件，三者可相對移動； 兩個拋光盤，包括粗拋光盤和精拋光盤； 三個交互杯，包括分別為位于第一頭組件、第二頭組件、第三頭組件的初始位處的第一裝卸杯、第二裝卸杯、保濕杯；各個頭組件在所述第一裝卸杯或第二裝卸杯處裝卸晶圓或保濕等待拋光、在所述保濕杯處保濕等待拋光； 位于所述拋光盤上方的頂板，其下表面設有環形軌道； 所述頭組件包括驅動裝置和連接到所述驅動裝置的下端的承載頭，所述承載頭用于承載晶圓至所述拋光盤處拋光，所述驅動裝置的上端滑動安裝到所述環形軌道以驅動所述頭組件沿所述環形軌道滑動，所述驅動裝置的側部具有凸出的限位部； 所述頂板的下表面設有與所述頭組件一一對應的限位組件，其包括沿與所述環形軌道同心的弧形間隔設置的第一擋塊和第二擋塊及活動限位在二者之間的擺動限位件，在順時針方向上所述第一擋塊位于所述第二擋塊下游，所述擺動限位件與所述限位部在豎直方向上部分重疊，所述限位部經由所述擺動限位件在順時針方向上由所述第一擋塊限位、在逆時針方向上由所述第二擋塊限位，以使所述頭組件沿所述環形軌道的滑動范圍為360至380度，使得所述頭組件沿順時針或逆時針均能回到初始位，與初始位處的交互杯對心交互； 每個限位組件尺寸相同且間隔設置在同一圓周上；每個頭組件的限位部設置成可內外伸縮或可上下移動，所述頭組件和與其對應的限位組件之間通信連接，以在靠近彼此時相互感應，來促使所述限位部的伸縮或移動，以在經過與其不對應的限位組件時收縮或向下移動進行避讓，以及在經過與其對應的限位組件時伸出或向上移動進行限位；所述擺動限位件配置成分別與所述第一擋塊和第二擋塊磁性相斥，以形成磁性緩沖限位； 三個頭組件中的一個或多個配置成在沿所述環形軌道滑動一圈進行晶圓拋光的過程中在所述環形軌道的局部范圍內往復滑動以配合其他頭組件的滑動，包括：在第一頭組件和第二頭組件順時針滑動一圈進行粗拋光和精拋光的過程中，第三頭組件依次順時針移動到第二裝卸杯裝載晶圓、到粗拋光盤進行粗拋光；在第一頭組件和第二頭組件逆時針滑動執行下一次拋光的過程中，所述第三頭組件逆時針回到所述精拋光盤進行精拋光，然后再順時針回到第二裝卸杯卸載晶圓。

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