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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇晟馳微電子有限公司申請的專利一種實(shí)時(shí)監(jiān)測二氧化硅厚度的監(jiān)測裝置及其使用方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120120975B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510591937.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/06；該發(fā)明授權(quán)一種實(shí)時(shí)監(jiān)測二氧化硅厚度的監(jiān)測裝置及其使用方法是由王黎明設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-05-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種實(shí)時(shí)監(jiān)測二氧化硅厚度的監(jiān)測裝置及其使用方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種實(shí)時(shí)監(jiān)測二氧化硅厚度的監(jiān)測裝置及其使用方法，涉及二氧化硅厚度監(jiān)測技術(shù)領(lǐng)域，包括板體一、直角板和電動(dòng)伸縮桿一，所述板體一的頂部安裝有控制器部件，所述板體一的頂部安裝有直角板，所述直角板的頂部安裝有電動(dòng)伸縮桿一，所述電動(dòng)伸縮桿一的輸出端安裝有移動(dòng)板一，所述移動(dòng)板一的頂部安裝有液壓缸一，所述液壓缸一的輸出端安裝有升降板一，所述升降板一的底部設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)測厚機(jī)構(gòu)。本發(fā)明在激光測距儀二下移對二氧化硅板進(jìn)行測厚時(shí)，通過彈簧一能夠?qū)す鉁y距儀二與二氧化硅之間的接觸進(jìn)行緩沖，降低激光測距儀二與二氧化硅碰撞時(shí)受到的傷害，通過前后移動(dòng)激光測距儀二對二氧化硅板進(jìn)行測厚能夠增加測厚范圍。

本發(fā)明授權(quán)一種實(shí)時(shí)監(jiān)測二氧化硅厚度的監(jiān)測裝置及其使用方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種實(shí)時(shí)監(jiān)測二氧化硅厚度的監(jiān)測裝置，其特征在于：包括板體一（1）、直角板（9）和電動(dòng)伸縮桿一（10），所述板體一（1）的頂部安裝有控制器部件（2），所述板體一（1）的頂部安裝有直角板（9），所述直角板（9）的頂部安裝有電動(dòng)伸縮桿一（10），且電動(dòng)伸縮桿一（10）與控制器部件（2）電信號連接，所述電動(dòng)伸縮桿一（10）的輸出端安裝有移動(dòng)板一（11），所述移動(dòng)板一（11）的頂部安裝有液壓缸一（13），且液壓缸一（13）與控制器部件（2）電信號連接，所述液壓缸一（13）的輸出端安裝有升降板一（14），所述升降板一（14）的底部設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)測厚機(jī)構(gòu)； 所述直角板（9）的背面安裝有收納框（30）； 所述轉(zhuǎn)動(dòng)測厚機(jī)構(gòu)包括電機(jī)二（15）和轉(zhuǎn)動(dòng)升降板（16），電機(jī)二（15）安裝在升降板一（14）的底部，且電機(jī)二（15）與控制器部件（2）電信號連接，電機(jī)二（15）的輸出端安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)升降板（16）； 所述轉(zhuǎn)動(dòng)測厚機(jī)構(gòu)還包括框體一（17）、彈簧一（18）、壓力傳感器一（19）、板體二（20）和激光測距儀二（21），轉(zhuǎn)動(dòng)升降板（16）的底部安裝有多個(gè)框體一（17），框體一（17）的頂部內(nèi)壁安裝有彈簧一（18），彈簧一（18）的一端安裝有壓力傳感器一（19），壓力傳感器一（19）與控制器部件（2）電信號連接，壓力傳感器一（19）的底部輸入端安裝有板體二（20），板體二（20）的底部安裝有激光測距儀二（21），且激光測距儀二（21）與控制器部件（2）電信號連接； 所述收納框（30）的背面對稱安裝有液壓缸二（31），液壓缸二（31）與控制器部件（2）電信號連接，液壓缸二（31）的輸出端安裝有移動(dòng)板二（32），且移動(dòng)板二（32）的正面貫穿直角板（9）的正面，移動(dòng)板二（32）的頂部安裝有海綿（33）。

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