北京量子信息科學研究院崔文強獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京量子信息科學研究院申請的專利一種超高真空內多樣品架兼容傳樣機械手及其傳樣方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120080335B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510561267.6,技術領域涉及:B25J15/00;該發明授權一種超高真空內多樣品架兼容傳樣機械手及其傳樣方法是由崔文強;鄧鵬;常凱設計研發完成,并于2025-04-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種超高真空內多樣品架兼容傳樣機械手及其傳樣方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種超高真空內多樣品架兼容傳樣機械手及其傳樣方法,涉及傳樣機械手技術領域,包括傳樣叉,所述傳樣叉的頂端設有2英寸晶圓抓手,傳樣叉的底端設有4英寸晶圓抓手,傳樣叉的一側設有樣品抓取機構;所述樣品抓取機構包括套筒,套筒上分別開設有第一卡槽和第二卡槽。本發明針對OmicronMBE與STM系統、UnisokuMBE與STM系統、2英寸晶圓MBE、4英寸晶圓MBE的超高真空系統,制造了一種能夠兼容4種樣品架的傳樣機械手與存樣機構,能夠抓取四種4種樣品架,存入同一真空腔內。因此,只需要利用其制造一臺超高真空手提箱,即可解決把樣品從以上四種不同超高真空系統中不經過大氣直接傳入氬氣保護的手套箱的問題。
本發明授權一種超高真空內多樣品架兼容傳樣機械手及其傳樣方法在權利要求書中公布了:1.一種超高真空內多樣品架兼容傳樣機械手,包括傳樣叉(1),其特征在于:所述傳樣叉(1)的頂端設有2英寸晶圓抓手(101),傳樣叉(1)的底端設有4英寸晶圓抓手(102),傳樣叉(1)的一側設有樣品抓取機構(2); 所述樣品抓取機構(2)包括套筒(201),套筒(201)上分別開設有第一卡槽(2011)和第二卡槽(2012),套筒(201)內活動安裝有位移定子(203)和復位彈簧(202); 所述位移定子(203)內部安裝有旋轉定子(204),位移定子(203)上開設有第三卡槽(2032),旋轉定子(204)上固定有第一限位柱(2041),第一限位柱(2041)通過第三卡槽(2032)延伸至位移定子(203)的外部,且第一限位柱(2041)通過第一卡槽(2011)延伸至套筒(201)外部,位移定子(203)上固定有第二限位柱(2031),第二限位柱(2031)通過第一卡槽(2011)延伸至套筒(201)外部。
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