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龍圖騰網(wǎng)獲悉新光電氣工業(yè)株式會社申請的專利基板固定裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113284837B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110123746.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)基板固定裝置是由栗林明宏;西川里驅(qū)設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-01-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基板固定裝置在說明書摘要公布了：本公開提供一種基板固定裝置，該基板固定裝置包括：靜電吸盤，其構(gòu)造為在靜電吸盤上吸附并且保持對象，并且靜電吸盤包括基體和靜電電極，對象安裝在該基體上，并且靜電電極設(shè)置在基體中；以及底板，靜電吸盤安裝在底板上，并且底板具有多個通孔，該多個通孔中的每一個使基體的面向底板的第一面露出。從通孔中的每一個朝向基體發(fā)射激光。

本發(fā)明授權(quán)基板固定裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板固定裝置，包括： 靜電吸盤，其構(gòu)造為在所述靜電吸盤上吸附并且保持對象，并且所述靜電吸盤包括基體和靜電電極，所述對象安裝在所述基體上，并且所述靜電電極設(shè)置在所述基體中；以及 底板，所述靜電吸盤安裝在所述底板上，并且所述底板具有多個通孔，所述多個通孔中的每一個使所述基體的面向所述底板的第一面露出， 其中，從所述通孔中的每一個朝向所述基體發(fā)射激光， 所述基板固定裝置還包括： 多個光纖，所述多個光纖中的每一個構(gòu)造為朝向所述基體發(fā)射激光，并且布置在所述通孔中相對應(yīng)的一個中， 其中，在所述基體的所述第一面中形成有多個凹部， 所述凹部中的每一個面向所述光纖中相對應(yīng)的一個，并且 所述基體由陶瓷制成，所述基體的陶瓷從所述凹部中的每一個的底面和側(cè)面露出，并且從所述光纖中的每一個發(fā)射的激光輻射至從所述凹部中的每一個的所述底面和所述側(cè)面露出的所述基體的陶瓷上。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人新光電氣工業(yè)株式會社，其通訊地址為：日本長野縣；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。