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      無錫尚積半導體科技股份有限公司張陳斌獲國家專利權
      
	                
      
						
      
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				                        龍圖騰網獲悉無錫尚積半導體科技股份有限公司申請的專利一種PVD碳膜設備的顆粒控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120330673B
				                        。
	                    
      
	                    
      
	                        龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510830354.7，技術領域涉及：C23C14/56；該發明授權一種PVD碳膜設備的顆?？刂品椒?/a>是由張陳斌;張超;葛青濤;歐陽軍晨;宋永輝;王世寬設計研發完成，并于2025-06-20向國家知識產權局提交的專利申請。
	                    
      
	                    
      
	                        本一種PVD碳膜設備的顆?？刂品椒?/a>在說明書摘要公布了：本發明提供一種PVD碳膜設備的顆粒控制方法，包括以下步驟：步驟S1、在基底上濺射碳膜；步驟S2、在靶材表面形成一層碳化硅鈍化層；步驟S3、碳膜顆粒與氧氣反應并被清除；步驟S4、恢復靶材表面狀態至初始狀態；步驟S5、重復步驟S1?S4。本發明在基底上濺射形成碳膜后，在靶材表面形成一層碳化硅鈍化層，這使得通過氧氣在等離子體中與碳顆粒發生反應時，碳靶本身不會發生反應而被消耗，可以有效降低靶面的消耗，若無鈍化層，后續通入氧氣與碳顆粒發生反應時則同樣使得靶面被消耗。本發明的顆?？刂品椒軌蝻@著降低腔體內因濺射碳膜過程中真空腔體內逐漸積累的碳顆粒。
	                    
      
	                    
	                        
      
	                            本發明授權一種PVD碳膜設備的顆?？刂品椒?/a>在權利要求書中公布了：1.一種PVD碳膜設備的顆?？刂品椒ǎ涮卣髟谟?，包括以下步驟：
步驟S1、濺射碳膜：將基底傳輸至真空濺射腔體內的載臺上，利用直流磁控濺射靶材，在基底上形成碳膜，將基底移出真空濺射腔體；
步驟S2、形成碳化硅鈍化層：將非摻雜性純硅片傳輸至所述載臺上，對所述載臺施加一定頻率的射頻功率P0，硅片原子逐漸被刻蝕出來，同時對所述靶材輸入直流功率P1，使得硅原子與通過直流濺射出來的碳原子結合，濺射時間記為t1，濺射完成后在所述靶材表面形成一層碳化硅鈍化層；
步驟S3、碳膜顆粒與氧氣反應并被清除：對所述載臺施加的射頻功率和頻率均保持不變，通入氧氣與腔體內碳顆粒充分反應形成二氧化碳氣體并被泵抽走；
步驟S4、恢復靶材表面狀態：通過對所述靶材輸入非對稱式雙極脈沖功率P2，且P2≥P1，濺射時間t2=t1，清除所述靶材表面的鈍化層，靶材狀態重新恢復至初始狀態；
步驟S5、重復步驟S1-S4。
	                        
      
	                    
	                    
      
	                        如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫尚積半導體科技股份有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區長江南路35-312號廠房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
	                    
      
	                    
	                
      
	                
      
	                    
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							1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
      
							2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
	                    
	                
      

					

					
				
      
				
			
      
		
      

			




















































































































































		
      






      


      


      
	
	

      











		
		
		



		

		
		
		
		
		





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