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龍圖騰網(wǎng)獲悉涌淳半導(dǎo)體(無錫)有限公司申請(qǐng)的專利一種具有自動(dòng)定位夾持功能的晶圓膜厚檢測設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120432421B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510921388.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種具有自動(dòng)定位夾持功能的晶圓膜厚檢測設(shè)備是由曹曉光;李峰;邵秋新;張同雷設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-04向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種具有自動(dòng)定位夾持功能的晶圓膜厚檢測設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種具有自動(dòng)定位夾持功能的晶圓膜厚檢測設(shè)備，涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明通過設(shè)置有定位盒，并在定位盒內(nèi)設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)第二吸盤橫縱移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)的調(diào)節(jié)組件，配合同步組件和觸發(fā)單元的定位限制，使得晶圓在被搬運(yùn)至加工檢測腔內(nèi)加工和檢測膜厚前，會(huì)先在加工檢測腔外的定位盒內(nèi)進(jìn)行快速精準(zhǔn)的定位夾持，而后通過轉(zhuǎn)運(yùn)臂以固定姿態(tài)精準(zhǔn)送入加工檢測腔內(nèi)，將對(duì)晶圓的精準(zhǔn)定位分離至加工檢測腔外側(cè)，在保障晶圓定位精準(zhǔn)的情況下，降低復(fù)雜定位結(jié)構(gòu)對(duì)晶圓加工和檢測造成的影響，有利于提升檢測精準(zhǔn)性，并有利于保障該設(shè)備運(yùn)行過程中的高效便捷性。

本發(fā)明授權(quán)一種具有自動(dòng)定位夾持功能的晶圓膜厚檢測設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種具有自動(dòng)定位夾持功能的晶圓膜厚檢測設(shè)備，包括機(jī)臺(tái)（1），其特征在于：所述機(jī)臺(tái)（1）的頂部安裝有轉(zhuǎn)運(yùn)臂（2），所述機(jī)臺(tái)（1）的右側(cè)設(shè)置有第一料區(qū)（3），所述機(jī)臺(tái)（1）上設(shè)置有定位盒（4），且定位盒（4）內(nèi)設(shè)置有第二吸盤（401），所述定位盒（4）內(nèi)安裝有用于驅(qū)動(dòng)第二吸盤（401）橫縱移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)的調(diào)節(jié)組件（402），所述調(diào)節(jié)組件（402）包括固定在定位盒（4）內(nèi)的第一電滑軌（4021），且第一電滑軌（4021）的滑臺(tái)上固定有與其垂直設(shè)置的第二電滑軌（4022），所述第二電滑軌（4022）的滑臺(tái)上固定有連接臺(tái)（4023），所述第二吸盤（401）與連接臺(tái)（4023）轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述連接臺(tái)（4023）內(nèi)固定有第一齒環(huán)（4024），所述連接臺(tái)（4023）上固定有第四電機(jī)（4025），且第四電機(jī)（4025）的驅(qū)動(dòng)軸上固定有與第一齒環(huán)（4024）嚙合的第一齒輪（4026），所述定位盒（4）內(nèi)安裝有與第二吸盤（401）對(duì)應(yīng)設(shè)置的同步組件（403），所述同步組件（403）上安裝有眾多均勻分布的觸發(fā)單元（405），所述機(jī)臺(tái)（1）的左側(cè)設(shè)置有加工檢測腔（5），且加工檢測腔（5）內(nèi)安裝有第三吸盤（501），以及設(shè)置在第三吸盤（501）上方的膜厚儀（502）。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人涌淳半導(dǎo)體(無錫)有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)城南路228號(hào)306室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。