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龍圖騰網(wǎng)獲悉巨玻固能(蘇州)薄膜材料有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種真空蒸發(fā)鍍膜方法、蒸發(fā)源材料及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120423875B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510885985.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C04B35/495；該發(fā)明授權(quán)一種真空蒸發(fā)鍍膜方法、蒸發(fā)源材料及其制備方法是由徐川;王乃成;王勝利設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種真空蒸發(fā)鍍膜方法、蒸發(fā)源材料及其制備方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供了一種真空蒸發(fā)鍍膜方法、蒸發(fā)源材料及其制備方法。該制備方法包括如下步驟：將Ta2O5粗粉、含有第一摻雜元素的第一摻雜源粉末和含有第二摻雜元素的第二摻雜源粉末進(jìn)行混合，得到混合粉末；對(duì)混合粉末進(jìn)行造粒，得到顆粒核，再在顆粒核的表面噴灑粒徑為0.1μm?0.5μm的Ta2O5細(xì)粉，以在顆粒核表面進(jìn)行包覆，形成核殼式結(jié)構(gòu)顆粒；對(duì)核殼式結(jié)構(gòu)顆粒進(jìn)行多階段升溫?zé)Y(jié)，以形成單一亞穩(wěn)相的蒸發(fā)源材料，蒸發(fā)源材料無(wú)第二相析出的Ta2O5?x材料，其中0＜x＜0.2，Ta2O5?x材料內(nèi)核區(qū)域的氧空位濃度高于外殼區(qū)域。本發(fā)明方案在提高蒸發(fā)源光學(xué)性能的同時(shí)抑制飛濺現(xiàn)象，提升薄膜表面光潔度。

本發(fā)明授權(quán)一種真空蒸發(fā)鍍膜方法、蒸發(fā)源材料及其制備方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于真空蒸發(fā)鍍膜的蒸發(fā)源材料的制備方法，其特征在于，包括如下步驟： 將粒徑為1μm-5μm的Ta2O5粗粉、含有第一摻雜元素的第一摻雜源粉末和含有第二摻雜元素的第二摻雜源粉末進(jìn)行混合，得到混合粉末，所述第一摻雜元素和第二摻雜元素的總原子摻雜量為0.1at%-1at%，所述第一摻雜源粉末為五氧化二鈮、五氧化二釩、五氧化二鎢或五氧化二銻粉末，所述第二摻雜源粉末為氧化鋯、氧化鈦或氧化鉿粉末； 對(duì)所述混合粉末進(jìn)行造粒，得到粒徑為0.8mm-1.2mm的顆粒核，再在所述顆粒核的表面噴灑粒徑為0.1μm-0.5μm的Ta2O5細(xì)粉，以在所述顆粒核表面進(jìn)行包覆，形成粒徑為2.5mm-3.5mm的核殼式結(jié)構(gòu)顆粒； 在氧氣分壓為10-5atm-10-4atm的低氧分壓氣氛下，對(duì)所述核殼式結(jié)構(gòu)顆粒進(jìn)行多階段升溫?zé)Y(jié)，以形成單一亞穩(wěn)相的蒸發(fā)源材料，所述蒸發(fā)源材料晶粒尺寸為20nm-50nm且無(wú)第二相析出的Ta2O5-x材料，其中0＜x＜0.2，所述Ta2O5-x材料內(nèi)核區(qū)域的氧空位濃度高于外殼區(qū)域； 所述在氧氣分壓為10-5atm-10-4atm的低氧分壓氣氛下，對(duì)所述核殼式結(jié)構(gòu)顆粒進(jìn)行多階段升溫?zé)Y(jié)，以形成單一亞穩(wěn)相的蒸發(fā)源材料，包括如下步驟： 在氧氣分壓為10-5atm-10-4atm的低氧分壓氣氛下，以第一升溫速率將溫度升高至第一預(yù)設(shè)溫度，并保溫第一預(yù)設(shè)時(shí)間； 以第二升溫速率將溫度升高至第二預(yù)設(shè)溫度，并保溫第二預(yù)設(shè)時(shí)間； 以第三升溫速率將溫度升高至第三預(yù)設(shè)溫度，并保溫第三預(yù)設(shè)時(shí)間，其中，所述第二預(yù)設(shè)溫度大于所述第一預(yù)設(shè)溫度，且小于所述第三預(yù)設(shè)溫度； 以預(yù)設(shè)降溫速率冷卻至室溫，以形成所述蒸發(fā)源材料； 所述第一預(yù)設(shè)溫度為400℃-600℃，所述第一預(yù)設(shè)時(shí)間為0.5h-1h； 所述第二預(yù)設(shè)溫度為1000℃-1300℃，所述第二預(yù)設(shè)時(shí)間為1h-2h； 所述第三預(yù)設(shè)溫度為1400℃-1800℃，所述第三預(yù)設(shè)時(shí)間為2h-4h； 所述第一升溫速率、所述第三升溫速率和所述預(yù)設(shè)降溫速率均為2℃min-5℃min，所述第二升溫速率為8℃min-12℃min。

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