買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利檢查裝置和探針的研磨方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114487524B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111209613.2，技術領域涉及：G01R3/00；該發明授權檢查裝置和探針的研磨方法是由小林將人設計研發完成，并于2021-10-18向國家知識產權局提交的專利申請。

本檢查裝置和探針的研磨方法在說明書摘要公布了：本發明提供檢查裝置和探針的研磨方法。檢查裝置用于對檢查對象基片進行檢查，包括：檢查用載置臺；輸送機構；載置研磨用基片的研磨用載置臺，研磨用基片用于對在檢查時與基片接觸的探針進行研磨、且具有可由輸送機構輸送的形狀和大??；使檢查用載置臺移動以相對于探針進退的第1進退機構；和使研磨用載置臺移動以相對于探針進退的第2進退機構，研磨用載置臺是在檢查用載置臺以外另外設置的，檢查用載置臺的退避區域與研磨用載置臺的退避區域在俯視時位于將探針夾在中間的相反側的位置，第2進退機構構成為：使得研磨用基片中的與該研磨用基片的退避區域側相反的一側在俯視時能夠與探針重疊，而該研磨用基片的退避區域側在俯視時不能與探針重疊。

本發明授權檢查裝置和探針的研磨方法在權利要求書中公布了：1.一種檢查裝置，其為用于對檢查對象基片進行檢查的檢查裝置，其特征在于，包括： 用于載置所述檢查對象基片的檢查用載置臺； 至少能夠輸送所述檢查對象基片的輸送機構； 用于載置研磨用基片的研磨用載置臺，所述研磨用基片是用于對在檢查時與基片接觸的探針進行研磨的部件、并且具有能夠由所述輸送機構輸送的形狀和大?。?第1進退機構，其用于使所述檢查用載置臺移動，以使所述檢查用載置臺相對于所述探針進退；和 第2進退機構，其用于使所述研磨用載置臺移動，以使所述研磨用載置臺相對于所述探針進退， 所述研磨用載置臺是在所述檢查用載置臺以外另外設置的， 所述檢查用載置臺的退避區域與所述研磨用載置臺的退避區域，在俯視時位于將所述探針夾在中間的相反側的位置， 所述第2進退機構構成為：使得被載置在所述研磨用載置臺上的所述研磨用基片中的、將該研磨用基片在俯視時分成2部分時作為與所述研磨用載置臺的所述退避區域側相反的一側的跟前側在俯視時能夠與所述探針重疊，而作為所述研磨用載置臺的所述退避區域側的里側在俯視時不能與所述探針重疊， 所述檢查裝置還包括用于使所述研磨用載置臺旋轉的旋轉機構， 能夠利用所述旋轉機構和所述第2進退機構，使得被載置在所述研磨用載置臺上的所述研磨用基片中的所述里側的在俯視時不能與所述探針重疊的區域，成為所述跟前側的區域而在俯視時能夠與所述探針重疊。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。