安徽熙泰智能科技有限公司朱平獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉安徽熙泰智能科技有限公司申請的專利一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN111678676B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202010656960.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01M11/02;該發(fā)明授權(quán)一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法是由朱平;趙錚濤;曹緒文;劉勝芳;祖?zhèn)?任清江;李雪原;宋蓋文;許麗華設(shè)計研發(fā)完成,并于2020-07-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法,其測試裝置包括電氣柜和設(shè)在電氣柜上的測試臺,所述測試臺上設(shè)有探針臺和位于探針臺上方可水平移動的龍門架,所述探針臺上設(shè)有用于去扎Wafer外圍PAD進(jìn)行全屏點亮的兩根探針,所述龍門架的下部對應(yīng)探針臺設(shè)有檢測相機和光譜儀。使用兩根探針扎到外圍PAD上給Die供電使Wafer全屏點亮,再使用面陣相機或TDI線陣相機對Wafer全屏進(jìn)行快速成像分析,無需探卡,可快速測試使得TactTime較傳統(tǒng)自動探針臺測試硅基OLED降低76.8%,提高了測試效率,且不會對BondingPAD造成損壞。
本發(fā)明授權(quán)一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種利用硅基OLED探針測試裝置的測試方法,其特征在于: 所述硅基OLED探針測試裝置包括電氣柜和設(shè)在電氣柜上的測試臺,所述測試臺上設(shè)有探針臺和位于探針臺上方可水平移動的龍門架,所述探針臺上設(shè)有用于去扎Wafer外圍兩個大PAD進(jìn)行全屏點亮的兩根探針,所述龍門架的下部對應(yīng)探針臺設(shè)有檢測相機和光譜儀;所述龍門架下部的檢測相機和光譜儀均為可沿豎直方向升降調(diào)節(jié)設(shè)置;所述檢測相機和光譜儀并排設(shè)置;所述探針為可移動設(shè)置的探針結(jié)構(gòu);所述龍門架為可沿XY方向移動的臺架; 所述測試方法包括以下步驟: Wafer外圍兩個大PAD設(shè)計在Wafer邊緣,每個Die上的扎針PAD通過走線集成連到Wafer外圍兩個大PAD上; Wafer放置在測試臺的探針臺上,利用探針臺自帶的兩根探針去扎Wafer外圍兩個大PAD進(jìn)行全屏點亮; 全屏點亮后面陣或線陣相機進(jìn)行Z軸焦距調(diào)整后沿XY方向?qū)afer進(jìn)行快速成像;相機快速成像后,光譜儀進(jìn)行每個Die的光譜測試; 光譜儀測試完成后,Wafer進(jìn)行加載運動,此時計算機系統(tǒng)開始處理測試數(shù)據(jù)輸出測試報告。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人安徽熙泰智能科技有限公司,其通訊地址為:241000 安徽省蕪湖市蕪湖長江大橋綜合經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)高安街道經(jīng)四路一號辦公樓五樓;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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