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龍圖騰網獲悉中北大學申請的專利一種壓力可調的雙頻超聲輔助半導體化學機械拋光裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120422140B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510933724.X，技術領域涉及：B24B37/10；該發明授權一種壓力可調的雙頻超聲輔助半導體化學機械拋光裝置是由葉林征;李文龍;吳佳龍;祝錫晶;李騰偉;張萬奇設計研發完成，并于2025-07-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種壓力可調的雙頻超聲輔助半導體化學機械拋光裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體化學機械拋光技術領域，具體是一種壓力可調的雙頻超聲輔助半導體化學機械拋光裝置，其包括轉臺，轉臺的臺板上表面自下而上依次層疊固定有托盤、下振板、上振板、磁性片、拋光墊，上振板的下表面中間固定有壓電陶瓷片，拋光墊的上表面偏心放置有保持套，保持套的外側面上端螺紋連接有螺紋套，螺紋套的外頂面固定有減震彈簧，減震彈簧的上端固定有支撐片，第二電滑環的內環固定于支撐片的上表面，第二電滑環的內環內固定裝配有傳動軸，傳動軸的下端固定有夾持套，夾持套內固定裝配有超聲波振子。其解決了現有半導體化學機械拋光技術拋光速度較慢、拋光后表面質量較差、拋光合格率較低的問題，適用于半導體化學機械拋光。

本發明授權一種壓力可調的雙頻超聲輔助半導體化學機械拋光裝置在權利要求書中公布了：1.一種壓力可調的雙頻超聲輔助半導體化學機械拋光裝置，其特征在于：包括轉臺；轉臺的臺板（1）向上，且轉臺的臺板（1）上表面自下而上依次層疊固定有托盤（2）、下振板（3）、上振板（4）、磁性片（5）、拋光墊（6）；下振板（3）的上表面、上振板（4）的下表面均為中間低四周高的環形階梯面，且上振板（4）的下表面中間固定有壓電陶瓷片（7）；轉臺的外殼（8）上表面固定有定位夾持架；拋光墊（6）的上表面偏心放置有呈筒形結構的保持套（9），且保持套（9）可轉動地夾設于定位夾持架內；保持套（9）的外側面上端螺紋連接有呈杯形結構且杯口向下的螺紋套（10）；螺紋套（10）的外頂面固定有減震彈簧（11）；減震彈簧（11）的上端固定有支撐片（12）； 還包括支撐架、第一電滑環、第二電滑環、第一導線（13）、第二導線（14）、第三導線（15）、第四導線（16）、高頻超聲波發生器（17）、低頻超聲波發生器（18）；第一電滑環的外環（19）固定于支撐架上，且第一電滑環的外環（19）通過第一導線（13）與高頻超聲波發生器（17）電連接；第一電滑環的內環（20）通過第二導線（14）與壓電陶瓷片（7）電連接，且第二導線（14）同時貫穿拋光墊（6）、磁性片（5）、上振板（4）；第二電滑環的外環（21）通過第三導線（15）與低頻超聲波發生器（18）電連接；第二電滑環的內環（22）固定于支撐片（12）的上表面；第二電滑環的內環（22）內固定裝配有傳動軸（23），且傳動軸（23）的下端依次穿過支撐片（12）、減震彈簧（11）、螺紋套（10）伸入保持套（9）內；傳動軸（23）的下端固定有呈杯形結構且杯口向下的夾持套（24）；夾持套（24）內固定裝配有振動面向下的超聲波振子（25）；超聲波振子（25）的振動面固定有載物盤（26）；第二電滑環的內環（22）通過第四導線（16）與超聲波振子（25）電連接，且第四導線（16）貫穿保持套（9）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中北大學，其通訊地址為：030051 山西省太原市尖草坪區學院路3號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。