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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請的專利基于圖像的表面變形計量獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113763316B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110545017.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權(quán)基于圖像的表面變形計量是由M·瓦埃茲-伊拉瓦尼;趙國衡設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-05-19向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基于圖像的表面變形計量在說明書摘要公布了：使用成像反射計測量來檢測樣本上的局部傾斜區(qū)域的方法包括：在不阻擋從樣本反射的任何光的情況下獲得第一圖像，以及在孔徑平面處阻擋從樣本反射的一些光時獲得第二圖像。通過將第一圖像中像素的第一反射強度值與第二圖像中對應(yīng)像素的第二反射強度值進行比較來檢測局部傾斜區(qū)域。

本發(fā)明授權(quán)基于圖像的表面變形計量在權(quán)利要求書中公布了：1.一種使用成像反射計檢測樣本上的局部傾斜區(qū)域的方法，所述方法包括： 使用輸入射束照射所述樣本上的測量區(qū)域； 執(zhí)行第一成像反射測定法測量，其中執(zhí)行所述第一成像反射測定法測量包括： 在成像傳感器處接收從所述樣本反射的第一成像射束，其中定位在所述成像反射計的孔徑平面處的光圈被配置成使得所述第一成像射束穿過所述光圈的光瞳，并且所述光圈不阻擋從所述樣本反射的所述第一成像射束的任何部分；以及 使用從所述樣本反射并在所述成像傳感器處被接收的所述第一成像射束獲得所述測量區(qū)域的第一圖像，所述第一圖像包括第一多個像素； 執(zhí)行第二成像反射測定法測量，其中執(zhí)行所述第二成像反射測定法測量包括： 在所述成像傳感器處接收從所述樣本反射的第二成像射束，其中定位在所述成像反射計的所述孔徑平面處的所述光圈被配置成使得所述第二成像射束穿過所述光圈的所述光瞳，并且所述光圈阻擋從所述樣本反射的所述第二成像射束的一部分；以及 使用從所述樣本反射并在所述成像傳感器處被接收的所述第二成像射束獲得所述測量區(qū)域的第二圖像，所述第二圖像包括第二多個像素； 檢測所述測量區(qū)域內(nèi)的所述局部傾斜區(qū)域，其中檢測所述局部傾斜區(qū)域包括將所述第一圖像中的像素的第一反射強度值與所述第二圖像中的對應(yīng)像素的第二反射強度值進行比較。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。