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龍圖騰網(wǎng)獲悉昂圖創(chuàng)新有限公司申請(qǐng)的專利基于分束器的橢圓偏振儀聚焦系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114467017B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080069846.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N21/21；該發(fā)明授權(quán)基于分束器的橢圓偏振儀聚焦系統(tǒng)是由J·F·萊索因設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-09-29向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基于分束器的橢圓偏振儀聚焦系統(tǒng)在說明書摘要公布了：橢圓偏振儀包括聚焦系統(tǒng)，該聚焦系統(tǒng)使用測量斑的圖像確定用于橢圓偏振儀的最佳焦點(diǎn)位置。聚焦信號(hào)通過在由偏振器分析信號(hào)之前分離橢圓偏振儀測量斑來產(chǎn)生，從而避免對(duì)具有調(diào)制強(qiáng)度的該斑進(jìn)行成像。該聚焦信號(hào)在傳感器陣列上成像，并且基于該斑在該傳感器陣列上的該位置，可以確定該橢圓偏振儀的該焦點(diǎn)位置。單個(gè)圖像可用于確定該橢圓偏振儀的該焦點(diǎn)位置，從而允許實(shí)時(shí)聚焦位置測量。

本發(fā)明授權(quán)基于分束器的橢圓偏振儀聚焦系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種橢圓偏振儀，包括： 源，所述源沿路徑發(fā)射光； 第一偏振器，所述第一偏振器使所述光偏振以產(chǎn)生樣品光束，所述樣品光束與樣品相互作用并且被反射以產(chǎn)生反射光束； 補(bǔ)償器，所述補(bǔ)償器安置于所述樣品光束或所述反射光束的路徑中，所述補(bǔ)償器誘導(dǎo)所述光的偏振狀態(tài)的相位延遲，其中，所述第一偏振器和所述補(bǔ)償器中的至少一者圍繞與所述光的傳播方向平行的軸線旋轉(zhuǎn)； 分束器，所述分束器定位于所述補(bǔ)償器之后、在所述反射光束的路徑中，所述分束器被定位成接收所述反射光束并將所述反射光束的第一部分引導(dǎo)到聚焦系統(tǒng)并將所述反射光束的第二部分引導(dǎo)到用于分析所述第二部分的偏振狀態(tài)的第二偏振器，其中，所述反射光束的第一部分和所述反射光束的第二部分兩者均包括所述反射光束的整個(gè)橫截面； 所述聚焦系統(tǒng)被定位成從所述分束器接收所述反射光束的第一部分，所述聚焦系統(tǒng)包括： 透鏡系統(tǒng)，所述透鏡系統(tǒng)接收所述反射光束的第一部分，所述透鏡系統(tǒng)將與所述橢圓偏振儀的最佳聚焦位置的任何偏差放大；和 第一檢測器，所述第一檢測器被定位成從所述透鏡系統(tǒng)接收所述反射光束的第一部分，其中，所述第一檢測器包括二維傳感器，并且所述聚焦系統(tǒng)中的透鏡系統(tǒng)在所述二維傳感器上產(chǎn)生斑并且所述二維傳感器產(chǎn)生所述斑的圖像； 所述第二偏振器被定位成從所述分束器接收所述反射光束的第二部分； 第二檢測器，所述第二檢測器被定位成從所述第二偏振器接收所述反射光束；和 處理器，所述處理器接收所述圖像并且被配置成在所述圖像中獲取所述斑在所述二維傳感器上的位置，以確定與所述橢圓偏振儀的最佳聚焦位置的偏差。

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