美科陶瓷科技有限公司崔晉榮獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉美科陶瓷科技有限公司申請的專利靜電吸盤加熱器及其制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114207802B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080053180.3，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權靜電吸盤加熱器及其制造方法是由崔晉榮;徐峻原;李柱聲設計研發完成，并于2020-06-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本靜電吸盤加熱器及其制造方法在說明書摘要公布了：本發明涉及具有雙極性結構的靜電吸盤加熱器，所述靜電吸盤加熱器包括：加熱器主體部，所述加熱器主體部具備根據半導體工藝模式而選擇性地執行RF接地功能和靜電吸盤功能中任一個的內部電極和外部電極；以及加熱器支撐部，所述加熱器支撐部加裝于所述加熱器主體部的下部，支撐所述加熱器主體部。
本發明授權靜電吸盤加熱器及其制造方法在權利要求書中公布了：1.一種靜電吸盤加熱器，包括： 加熱器主體部，所述加熱器主體部具備根據半導體工藝模式而選擇性地執行射頻接地功能和靜電吸盤功能中任一個的內部電極和外部電極；以及 加熱器支撐部，所述加熱器支撐部加裝于所述加熱器主體部的下部，支撐所述加熱器主體部， 所述加熱器主體部還包括：外部電極連接構件，所述外部電極連接構件配置于電極層與發熱體層之間，將所述外部電極與在所述加熱器支撐部設置的棒電連接， 所述外部電極連接構件從所述內部電極和所述外部電極的下面隔開既定距離并與所述內部電極和所述外部電極平行配置， 所述外部電極連接構件的兩端向所述外部電極的下面方向折彎形成。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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