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      羅伯特·博世有限公司H·韋伯獲國家專利權

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      龍圖騰網獲悉羅伯特·博世有限公司申請的專利用于傳感器設備或麥克風設備的微機械構件獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113683050B

      龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110538506.8,技術領域涉及:B81B7/02;該發明授權用于傳感器設備或麥克風設備的微機械構件是由H·韋伯;A·朔伊爾勒;J·弗里茨;P·施莫爾格魯貝爾;S·馬赫;T·弗里德里希設計研發完成,并于2021-05-18向國家知識產權局提交的專利申請。

      用于傳感器設備或麥克風設備的微機械構件在說明書摘要公布了:本發明涉及一種用于傳感器設備或麥克風設備的微機械構件,其具有:襯底;框架結構,其布置在襯底表面和或至少一個中間層上;膜片,其跨越由框架結構至少部分地圍繞的內部體積,其中,內部體積以氣密的方式如此密封,使得膜片能夠借助存在于其膜片內側上的內壓p1與存在于其膜片外側上的外壓p2之間的壓差而翹曲,其中,該微機械構件具有布置在內部體積中的彎曲梁結構,該彎曲梁結構具有固定在框架結構、襯底表面和或至少一個中間層上的至少一個錨固區域且具有至少一個自承載區域,該至少一個自承載區域通過至少一個耦合結構如此連接在膜片的膜片內側上,使得至少一個自承載區域能夠借助膜片的翹曲而彎曲。

      本發明授權用于傳感器設備或麥克風設備的微機械構件在權利要求書中公布了:1.一種用于傳感器設備或麥克風設備的微機械構件,所述微機械構件具有: 具有襯底表面10a的襯底10; 框架結構14,所述框架結構布置在所述襯底表面10a和或至少部分地覆蓋所述襯底表面10a的至少一個中間層12a,12b上;以及 膜片16,所述膜片如此跨越由所述框架結構14至少部分地圍繞的內部體積18,使得所述膜片16的膜片內側16a與所述內部體積18鄰接; 其中,所述內部體積18以氣密的方式如此密封,使得所述膜片16能夠借助存在于其膜片內側16a上的內壓p1與存在于所述膜片16的背離所述膜片內側16a地定向的膜片外側16b上的外壓p2之間的壓差而翹曲, 其特征在于 布置在所述內部體積18中的彎曲梁結構34,所述彎曲梁結構具有固定在所述框架結構14、所述襯底表面10a和或所述至少一個中間層12a,12b上的至少一個錨固區域36并且具有至少一個自承載區域38,所述至少一個自承載區域通過至少一個耦合結構40如此連接在所述膜片16的膜片內側16a上,使得所述至少一個自承載區域38能夠借助所述膜片16的翹曲而彎曲。

      如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人羅伯特·博世有限公司,其通訊地址為:德國斯圖加特;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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