應用材料公司徐永安獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利用于確定多圖案的線角度及旋轉的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114981632B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080092811.2，技術領域涉及：G01M11/02；該發明授權用于確定多圖案的線角度及旋轉的方法是由徐永安;邢嬋娟;傅晉欣;盧多維克·戈代設計研發完成，并于2020-12-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于確定多圖案的線角度及旋轉的方法在說明書摘要公布了：本文公開了用于確定光柵或線特征的線角度及線角度旋轉的方法及設備。本公開內容的一個方面涉及，使用測量工具來測量第一線特征的坐標點，從所述坐標點確定所述第一線特征的第一斜率，及從所述第一線特征的所述斜率確定第一線角度。能重復此過程以找出相鄰于所述第一線特征的第二線特征的第二斜率。能比較所述第一線特征與所述第二線特征的斜率來找出線角度旋轉。所述線角度旋轉與設計規格進行比較，來確定拼接品質。
本發明授權用于確定多圖案的線角度及旋轉的方法在權利要求書中公布了：1.一種確定在波導中并入的光柵結構的拼接品質的方法，所述方法包含下列步驟： 選擇光柵結構的視野； 使用測量工具來識別線特征； 沿著所述線特征選擇起點； 測量一級坐標，所述一級坐標包含第一x坐標及第一y坐標，其中所述第一x坐標是從所述視野的邊緣到所述一級坐標的第一距離； 測量沿著所述線特征的至少一個二級坐標的坐標，所述二級坐標包含第二x坐標及第二y坐標，其中所述第二x坐標是從所述視野的所述邊緣到所述二級坐標的第二距離； 使用所述一級坐標及所述二級坐標來估計理論線特征；及 計算在所述理論線特征與參考軸之間的線角度測量值。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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