江西兆馳半導體有限公司趙龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江西兆馳半導體有限公司申請的專利一種靜電放電測試方法、裝置及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114879016B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-08發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210551692.3,技術領域涉及:G01R31/28;該發明授權一種靜電放電測試方法、裝置及其制備方法是由趙龍;金從龍;陳萬元;駱乾峰;劉思設計研發完成,并于2022-05-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種靜電放電測試方法、裝置及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種靜電放電測試方法、裝置及其制備方法,該方法包括將第一測試板的第一電極與第二測試板相對應位置的充電電極一一對位連接;將第一測試板的第一電極區域,以及第二測試板的充電電極區域分別通過導線連接至充放電轉換模塊;將充放電轉換模塊調節至充電模式,以對第一測試板進行充電;將待測晶圓的每個芯片的兩電極分別與第一測試板的第一電極和第二電極一一對位連接;將第一測試板的第一電極區域,以及第一測試板的第二電極區域分別通過導線連接至充放電轉換模塊;將充放電轉換模塊調節至放電模式,以對待測晶圓進行靜電放電測試。本發明能夠解決現有技術中逐顆發光二極管芯片靜電放電測試效率低下和成本高的技術問題。
本發明授權一種靜電放電測試方法、裝置及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種靜電放電測試方法,應用于電極位于同一側的發光二極管芯片,其特征在于,所述靜電放電測試方法包括: 將第一測試板的第一電極與第二測試板相對應位置的充電電極一一對位連接; 將所述第一測試板的第一電極區域,以及所述第二測試板的充電電極區域分別通過導線連接至充放電轉換模塊,所述第一測試板包括若干第一電極和第二電極,所述第一測試板的邊緣設有第一電極區域和第二電極區域,所述第一電極朝向所述第一電極區域設有電極層,所述第一電極于靠近所述第一電極區域一側設有介質層,通過所述電極層與第一電極區域形成電容儲存電荷,所述介質層的介電常數為10-10000C2N·M2,厚度為0.1um-10mm, 任意相鄰的第二電極通過引線電連接,所述第二電極與所述第二電極區域通過引線電連接, 所述第一電極于靠近所述第二電極一側設有隔離層,以阻隔所述第一電極與所述第二電極的連接, 所述第二測試板的邊緣設有充電電極區域,任意相鄰的充電電極通過引線電連接,所述充電電極與所述充電電極區域通過引線電連接,充電電極與充電電極區域之間設有保護層; 將所述充放電轉換模塊調節至充電模式,以對所述第一測試板進行充電; 將待測晶圓的每個芯片的兩電極分別與所述第一測試板的所述第一電極和第二電極一一對位連接; 將所述第一測試板的所述第一電極區域,以及所述第一測試板的第二電極區域分別通過導線連接至所述充放電轉換模塊; 將所述充放電轉換模塊調節至放電模式,以對所述待測晶圓進行靜電放電測試。
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