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龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-08發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202110664618.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/54；該發(fā)明授權(quán)多臺(tái)基板處理系統(tǒng)是由森幸博設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-06-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本多臺(tái)基板處理系統(tǒng)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：真空處理模塊具有預(yù)成型的頂板和或成型為向外凸起的底部。頂板和或處理模塊的形狀抵消了在處理模塊中處理基板時(shí)由真空壓力和或高溫引起的變形。處理模塊具有可通向傳送室的側(cè)面和與可打開(kāi)側(cè)面相對(duì)的側(cè)面。凸起可以是不對(duì)稱(chēng)的，凸起的頂峰在頂板上偏心并且更靠近相對(duì)的側(cè)面而不是可打開(kāi)側(cè)面。剛性結(jié)構(gòu)可以安裝在頂板上以調(diào)節(jié)頂板中的凸起的大小。梁可以是剛性梁，其具有可調(diào)節(jié)的提升機(jī)構(gòu)，以提升頂板的附接部分。處理模塊可以容納多個(gè)基板以進(jìn)行處理，每個(gè)基板在處理模塊中占用專(zhuān)用的臺(tái)。

本發(fā)明授權(quán)多臺(tái)基板處理系統(tǒng)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種用于處理基板的處理模塊，所述處理模塊包括： 多個(gè)臺(tái)，每個(gè)臺(tái)配置為容納基板；以及 包封所述多個(gè)臺(tái)的殼體，所述殼體包括底部、頂板以及從所述底部延伸到所述頂板的側(cè)壁， 其中，所述頂板的形狀限定了向上延伸的凸起， 其中所述殼體還包括剛性結(jié)構(gòu)，其設(shè)置在所述頂板上方并跨越所述頂板，所述剛性結(jié)構(gòu)包括附接到所述頂板的提升機(jī)構(gòu)，用于維持所述凸起的向上延伸。

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