江蘇芯夢半導體設備有限公司請求不公布姓名獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇芯夢半導體設備有限公司申請的專利半導體工件存儲裝置的清潔方法及清潔設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120133252B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510629015.2，技術領域涉及：B08B9/20；該發明授權半導體工件存儲裝置的清潔方法及清潔設備是由請求不公布姓名設計研發完成，并于2025-05-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體工件存儲裝置的清潔方法及清潔設備在說明書摘要公布了：本申請涉及一種半導體工件存儲裝置的清潔方法及清潔設備。其中，清潔方法包括在干燥工位對蓋體與盒體進行干燥處理，所述半導體工件存儲裝置包括蓋體和盒體，所述蓋體可拆卸連接于所述盒體；對所述蓋體與所述盒體保持環境氣氛控制；對所述蓋體與所述盒體進行鎖合；將完成鎖合后的所述半導體工件存儲裝置進行下料。該清潔方法使得完成干燥處理后的蓋體與盒體所處的環境氣氛始終為干燥環境氣氛，能夠降低空氣中的水汽附著于盒體與蓋體表面的情況發生，進而能夠大大降低含有水汽的空氣對盒體與蓋體的干燥度的影響。
本發明授權半導體工件存儲裝置的清潔方法及清潔設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體工件存儲裝置的清潔方法，其特征在于，所述清潔方法包括： 在干燥工位對蓋體與盒體進行干燥處理，所述半導體工件存儲裝置包括蓋體和盒體，所述蓋體可拆卸連接于所述盒體； 對所述蓋體與所述盒體保持環境氣氛控制； 對所述蓋體與所述盒體進行鎖合； 將完成鎖合后的所述半導體工件存儲裝置進行下料； 其中，對所述蓋體與所述盒體保持環境氣氛控制，包括： 利用潔凈干燥氣體對鎖合過程中的所述蓋體與所述盒體進行吹掃；所述潔凈干燥氣體的相對濕度小于1%； 對所述蓋體與所述盒體進行鎖合之前，包括： 將完成干燥處理的所述蓋體與所述盒體移至鎖合工位； 利用潔凈干燥氣體對從所述干燥工位移至所述鎖合工位過程中的所述蓋體與所述盒體，以及位于所述鎖合工位的所述蓋體與所述盒體進行吹掃。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇芯夢半導體設備有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳中經濟開發區東吳南路25號城南科技產業園7幢(2號廠房)1、2層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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