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龍圖騰網獲悉江蘇芯夢半導體設備有限公司申請的專利待清洗的半導體工件存儲裝置的運輸調度方法、清洗方法及清潔設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120133257B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510629020.3，技術領域涉及：B08B9/44；該發明授權待清洗的半導體工件存儲裝置的運輸調度方法、清洗方法及清潔設備是由請求不公布姓名設計研發完成，并于2025-05-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本待清洗的半導體工件存儲裝置的運輸調度方法、清洗方法及清潔設備在說明書摘要公布了：本發明提供一種待清洗的半導體工件存儲裝置的運輸調度方法、清洗方法及清潔設備。其中，運輸調度方法包括：S1、將待清洗的半導體工件存儲裝置載入至清潔設備的裝載單元的裝載工位；S2、利用第一轉運機構將待清洗的半導體工件存儲裝置由裝載工位轉運至裝載單元的檢測工位；S3、利用檢測單元對待清洗的半導體工件存儲裝置進行檢測；S4、若檢測結果為不合格，則利用第一轉運機構將待清洗的半導體工件存儲裝置由裝載工位轉運至裝載單元的緩存工位；S5、利用位于清潔設備外部的第二轉運機構將另一個待清洗的半導體工件存儲裝置運輸至裝載工位。該運輸調度方法不僅能夠優化運輸調度路線，且能夠提供足夠的靈活調度空間。

本發明授權待清洗的半導體工件存儲裝置的運輸調度方法、清洗方法及清潔設備在權利要求書中公布了：1.一種待清洗的半導體工件存儲裝置的運輸調度方法，其特征在于，利用清潔設備對待清洗的所述半導體工件存儲裝置進行清洗，所述運輸調度方法包括： S1、將待清洗的半導體工件存儲裝置載入至所述清潔設備的裝載單元的裝載工位，所述裝載工位位于所述清潔設備外部； S2、利用第一轉運機構將待清洗的所述半導體工件存儲裝置由所述裝載工位轉運至所述裝載單元的檢測工位； S3、利用檢測單元對待清洗的所述半導體工件存儲裝置進行檢測； S4、若檢測結果為不合格，則利用所述第一轉運機構將待清洗的所述半導體工件存儲裝置由所述裝載工位轉運至所述裝載單元的緩存工位，所述緩存工位與所述裝載工位位于同一側； S5、利用位于所述清潔設備外部的第二轉運機構將另一個待清洗的半導體工件存儲裝置運輸至所述裝載工位； S6、所述第二轉運機構將另一個待清洗的所述半導體工件存儲裝置放置于所述裝載工位后直接移至所述緩存工位，并將位于所述緩存工位的檢測結果為不合格的所述半導體工件存儲裝置進行轉運。

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