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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司申請的專利待清洗的半導(dǎo)體工件存儲裝置內(nèi)異物的檢測方法及清潔設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120142069B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510629018.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N5/02；該發(fā)明授權(quán)待清洗的半導(dǎo)體工件存儲裝置內(nèi)異物的檢測方法及清潔設(shè)備是由請求不公布姓名設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-05-16向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本待清洗的半導(dǎo)體工件存儲裝置內(nèi)異物的檢測方法及清潔設(shè)備在說明書摘要公布了：本申請涉及一種待清洗的半導(dǎo)體工件存儲裝置內(nèi)異物的檢測方法及清潔設(shè)備。其中，檢測方法包括獲取半導(dǎo)體工件存儲裝置的標(biāo)簽信息；獲取半導(dǎo)體工件存儲裝置的當(dāng)前重量值；從數(shù)據(jù)庫中調(diào)取與標(biāo)簽信息關(guān)聯(lián)的半導(dǎo)體工件存儲裝置的參考重量值；若數(shù)據(jù)庫中不存在參考重量值，則觸發(fā)第一檢測指令，否則，將當(dāng)前重量值與參考重量值進行比對；當(dāng)當(dāng)前重量值與參考重量值的差值超過預(yù)設(shè)閾值時，觸發(fā)第一檢測指令，第一檢測指令為執(zhí)行半導(dǎo)體工件存儲裝置的盒體與蓋體的分離動作及對其內(nèi)部確認(rèn)是否存在異物的檢測；當(dāng)當(dāng)前重量值與參考重量值的差值在預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，完成檢測。該檢測方法既能夠保證檢測的準(zhǔn)確性，也能夠保證檢測效率。

本發(fā)明授權(quán)待清洗的半導(dǎo)體工件存儲裝置內(nèi)異物的檢測方法及清潔設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種待清洗的半導(dǎo)體工件存儲裝置內(nèi)異物的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法包括： 獲取半導(dǎo)體工件存儲裝置的標(biāo)簽信息； 獲取所述半導(dǎo)體工件存儲裝置的當(dāng)前重量值； 從數(shù)據(jù)庫中調(diào)取與所述標(biāo)簽信息關(guān)聯(lián)的所述半導(dǎo)體工件存儲裝置的參考重量值； 若所述數(shù)據(jù)庫中不存在所述參考重量值，則觸發(fā)第一檢測指令，否則，將所述當(dāng)前重量值與所述參考重量值進行比對； 當(dāng)所述當(dāng)前重量值所述參考重量值的差值超過預(yù)設(shè)閾值時，觸發(fā)所述第一檢測指令，所述第一檢測指令為執(zhí)行所述半導(dǎo)體工件存儲裝置的盒體與蓋體的分離動作及對其內(nèi)部確認(rèn)是否存在異物的檢測； 當(dāng)所述當(dāng)前重量值與所述參考重量值的差值在所述預(yù)設(shè)閾值范圍內(nèi)，完成檢測。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東吳南路25號城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢(2號廠房)1、2層；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。