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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利基板處理方法、氣流評(píng)價(jià)用基板以及基板處理裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113284785B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110179854.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)基板處理方法、氣流評(píng)價(jià)用基板以及基板處理裝置是由松田梨沙子;廣瀬潤(rùn)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-02-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板處理方法、氣流評(píng)價(jià)用基板以及基板處理裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供一種基板處理方法、氣流評(píng)價(jià)用基板以及基板處理裝置，能夠適當(dāng)?shù)販y(cè)定基板的表面的氣體的流動(dòng)?；逄幚矸椒òㄒ韵鹿ば颍汗ば騛，將在表面具有多個(gè)流量傳感器的基板載置到設(shè)置于腔室的內(nèi)部的載置臺(tái)；工序b，向所述腔室的內(nèi)部供給處理氣體；以及工序c，使用所述多個(gè)流量傳感器來(lái)測(cè)定所述基板的表面的所述處理氣體的流動(dòng)的大小和方向。基板處理裝置具備控制部以及具有氣體供給口和氣體排出口的腔室。

本發(fā)明授權(quán)基板處理方法、氣流評(píng)價(jià)用基板以及基板處理裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種基板處理方法：包括以下工序： 工序a，將表面具有多個(gè)流量傳感器的基板載置到設(shè)置于腔室的內(nèi)部的載置臺(tái)； 工序b，向所述腔室的內(nèi)部供給處理氣體； 工序c，使用所述多個(gè)流量傳感器來(lái)測(cè)定所述基板的表面的所述處理氣體的流動(dòng)的大小和方向； 工序d，對(duì)產(chǎn)品用基板進(jìn)行處理；以及 工序e，進(jìn)行所述工序a～所述工序c，評(píng)價(jià)所述處理氣體的流動(dòng)的大小和方向， 其中，所述工序e包括以下工序： 工序e1，在所述工序d之前進(jìn)行所述工序a～所述工序c，測(cè)定所述處理氣體的流動(dòng)的大小和方向的初始值； 工序e2，在所述工序d之后進(jìn)行所述工序a～所述工序c；以及 工序e3，將通過(guò)所述工序e1測(cè)定出的初始值與所述工序e2的測(cè)定結(jié)果進(jìn)行比較。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。