周星工程股份有限公司曹源泰獲國家專利權(quán)
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！
龍圖騰網(wǎng)獲悉周星工程股份有限公司申請(qǐng)的專利腔室清洗方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114930491B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202180008126.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)腔室清洗方法是由曹源泰設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-01-08向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本腔室清洗方法在說明書摘要公布了：本公開是關(guān)于一種腔室清洗方法，特別是關(guān)于一種能夠清洗在基板上沉積薄膜的步驟中受污染的腔室的清洗方法。根據(jù)一實(shí)施例的腔室清洗方法，其中一薄膜沉積于該腔室中，該方法包含：以在該腔室中電漿化的一第一氣體主要地清洗該腔室，以及將在該腔室外電漿化的一第二氣體提供至該腔室內(nèi)以活化電漿化的該第一氣體，從而次要地清洗該腔室。該第二氣體包含不與該第一氣體反應(yīng)的氣體。
本發(fā)明授權(quán)腔室清洗方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種腔室清洗方法，其中一薄膜沉積于所述腔室中，所述方法包含： 以在所述腔室中電漿化的一第一氣體執(zhí)行所述腔室的主要清洗；以及 將在所述腔室外電漿化的一第二氣體提供至所述腔室內(nèi)以活化電漿化的所述第一氣體至更高的能量態(tài)，從而使用活化的所述第一氣體執(zhí)行所述腔室的次要清洗， 其中，所述第二氣體包含不與所述第一氣體反應(yīng)的一氣體，且所述第二氣體包含氧氣。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人周星工程股份有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
免責(zé)聲明
1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
熱門推薦
- 中國鐵建高新裝備股份有限公司劉飛香獲國家專利權(quán)
- 上海電氣研砼建筑科技集團(tuán)有限公司盧崝獲國家專利權(quán)
- 眾普森科技(株洲)有限公司皮遠(yuǎn)軍獲國家專利權(quán)
- 深圳鈕邁科技有限公司賴燊獲國家專利權(quán)
- 全耐塑料公司弗蘭克·萊特里爾獲國家專利權(quán)
- 海信視像科技股份有限公司黃飛獲國家專利權(quán)
- 深圳市速騰聚創(chuàng)科技有限公司王超獲國家專利權(quán)
- 河南中煙工業(yè)有限責(zé)任公司崔廷獲國家專利權(quán)
- 上海電氣集團(tuán)股份有限公司熊宇獲國家專利權(quán)
- 寧波圣龍汽車動(dòng)力系統(tǒng)股份有限公司羅力元獲國家專利權(quán)
開放平臺(tái)
擔(dān)保交易
惠及多方
會(huì)員特惠
專屬平臺(tái)
適合多方
數(shù)據(jù)共享
功能齊全
皖公網(wǎng)安備 34010402703815號(hào)