聯華電子股份有限公司方玲剛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉聯華電子股份有限公司申請的專利多晶硅-絕緣體-多晶硅電容器及其制作方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114613908B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011587377.3,技術領域涉及:H10D1/68;該發明授權多晶硅-絕緣體-多晶硅電容器及其制作方法是由方玲剛設計研發完成,并于2020-12-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本多晶硅-絕緣體-多晶硅電容器及其制作方法在說明書摘要公布了:本發明公開一種多晶硅?絕緣體?多晶硅電容器及其制作方法,其中該多晶硅?絕緣體?多晶硅電容器包含一基底,具有一電容形成區域;一第一電容介電層,設置在電容形成區域上;一第一多晶硅電極,設置在第一電容介電層上;一第二電容介電層,設置在第一多晶硅電極上;一第二多晶硅電極,設置在第二電容介電層上;一第三多晶硅電極,設置在鄰近第二多晶硅電極的第一側壁;一第三電容介電層,設置在第三多晶硅電極和第二多晶硅電極之間;一第四多晶硅電極,設置在鄰近第二多晶硅電極的第二側壁;以及一第四電容介電層,設置在第四多晶硅電極和第二多晶硅電極之間。
本發明授權多晶硅-絕緣體-多晶硅電容器及其制作方法在權利要求書中公布了:1.一種多晶硅-絕緣體-多晶硅電容器,其特征在于,包含: 半導體基底,其上具有電容形成區域; 第一電容介電層,設置在該電容形成區域上; 第一多晶硅電極,設置在該第一電容介電層上; 第二電容介電層,設置在該第一多晶硅電極上; 第二多晶硅電極,設置在該第二電容介電層上,其中該第一多晶硅電極包含接觸部,該接觸部突出超過該第二多晶硅電極的端面; 第三多晶硅電極,設置在鄰近該第二多晶硅電極的第一側壁,其中該第三多晶硅電極面對該第一多晶硅電極的第三側壁; 第三電容介電層,設置在該第三多晶硅電極和該第二多晶硅電極之間; 第四多晶硅電極,設置為鄰近于該第二多晶硅電極的第二側壁,其中該第二側壁和該第一側壁是相對的;以及 第四電容介電層,設置在該第四多晶硅電極與該第二多晶硅電極之間,其中,該第一多晶硅電極、該第三多晶硅電極和該第四多晶硅電極電連接至陽極,該第二多晶硅電極電連接至陰極,又其中,該第三多晶硅電極、該第三電容介電層和該第二多晶硅電極構成第一電容,該第一多晶硅電極、該第二電容介電層和該第二多晶硅電極構成第二電容,第二多晶硅電極、該第四電容介電層和該第四多晶硅電極構成第三電容,離子阱設置在該電容形成區域內并且電連接至該陰極,又其中,該第三多晶硅電極、該第一電容介電層和該離子阱構成第四電容,該第一多晶硅電極、第一電容介電層和該離子阱構成第五電容。
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