視睿(杭州)信息科技有限公司別偉成獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉視睿(杭州)信息科技有限公司申請的專利一種超聲檢測設備、方法、裝置、電子設備及介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120121728B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510600745.X,技術領域涉及:G01N29/44;該發明授權一種超聲檢測設備、方法、裝置、電子設備及介質是由別偉成;單書暢;別曉輝設計研發完成,并于2025-05-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種超聲檢測設備、方法、裝置、電子設備及介質在說明書摘要公布了:本發明提供了一種超聲檢測設備、方法、裝置、電子設備及介質,方法包括獲取多個超聲換能器采集到的第一超聲信號;將所述第一超聲信號進行希爾伯特變換,得到變換后的第二超聲信號;基于所述第二超聲信號與表面波門限值的比較結果找到表面波;將所述第二超聲信號中表面波之后的預置時間內的波形,與鍵合層門限值進行比較找到鍵合層波形;基于所述鍵合層波形的幅值確定鍵合層是否存在分層缺陷。本發明能夠避免圖像上存在噪點,以及分層缺陷被遺漏的問題出現。
本發明授權一種超聲檢測設備、方法、裝置、電子設備及介質在權利要求書中公布了:1.一種超聲數據分析方法,其特征在于,包括: 獲取多個超聲換能器采集到的第一超聲信號; 將所述第一超聲信號進行希爾伯特變換,得到變換后的第二超聲信號; 基于所述第二超聲信號與表面波門限值的比較結果找到表面波;將所述第二超聲信號中表面波之后的預置時間內的波形,與鍵合層門限值進行比較找到鍵合層波形; 基于所述鍵合層波形的幅值確定鍵合層是否存在分層缺陷; 所述基于所述第二超聲信號與表面波門限值的比較結果找到表面波,包括: 將所述第二超聲信號中第一次出現的波峰幅值大于表面波門限值的波形確定為表面波; 在所述基于所述鍵合層波形的幅值確定鍵合層是否存在分層缺陷,之后還包括: 獲取多個所述超聲換能器采集到的所述第一超聲信號對應的所述鍵合層波形,以及所述第一超聲信號對應于晶圓上的位置信息,得到晶圓上每一位置對應的鍵合層波形; 將晶圓上每一位置對應的鍵合層波形的振幅值,轉換成每一像素點的灰度值,進而得到完整的第一晶圓灰度圖像,所述第一晶圓灰度圖像用于反映晶圓上各缺陷的分布。
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