南京理工大學曹思琪獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉南京理工大學申請的專利一種調控納秒激光誘導半導體表面周期性結構的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115156719B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210885406.7，技術領域涉及：B23K26/352；該發明授權一種調控納秒激光誘導半導體表面周期性結構的方法是由曹思琪;韓冰;劉燕峰;盧奕揚設計研發完成，并于2022-07-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種調控納秒激光誘導半導體表面周期性結構的方法在說明書摘要公布了：本發明提出了一種簡單的調控多脈沖納秒激光誘導半導體表面周期性結構的方法，包括：紫外納秒激光直接垂直入射到單面拋光的半導體材料表面，在表面形成小周期的納米結構，所述周期性結構的方向可以通過改變入射激光的偏振方向來調控，所述周期性結構的大小和深度可以通過改變入射激光的能量密度、脈沖個數和環境介質來調控。通過本發明在半導體表面制得的納米結構滿足工業大規模表面加工所需的低成本的要求，并且可以改變材料的光學特性、摩擦特性和潤濕特性等。
本發明授權一種調控納秒激光誘導半導體表面周期性結構的方法在權利要求書中公布了：1.一種調控納秒激光誘導半導體表面周期性結構的方法，其特征在于，具體步驟為： 對半導體材料進行預處理，具體為：利用丙酮溶液去除單面拋光的半導體材料表面的油脂，并利用超聲波清洗機對半導體材料進行深層清潔； 將介質和半導體通過透鏡安裝座整合到一起，且半導體拋光面與介質接觸，由納秒激光器發出的紫外脈沖激光依次經過半波片1、偏振分光棱鏡、半波片2、凸透鏡、凹透鏡、介質，垂直入射到半導體材料表面，所述紫外脈沖激光為入射激光；通過半波片1和半波片2之間的角度差控制入射激光的偏振方向；凸凹透鏡的組合構成一個長焦系統，以此來矯正像差；所述介質為不與半導體材料發生化學反應的液體或氣體；所述凸透鏡的焦距為f1＝50mm，凹透鏡的焦距為f2＝-25mm； 納秒激光器發送設定脈沖個數的紫外脈沖激光，在半導體拋光面形成LIPSS。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南京理工大學，其通訊地址為：210094 江蘇省南京市玄武區孝陵衛200號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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